ফ্যাব ফ্লোরে, যখন সফট বেক প্রক্রিয়াটি ০.২°C পরিমাণ পরিবর্তিত হয়, তখনই এর প্রভাব অনুভব করা যায়। ফটোরেজিস্টের পুরুত্ব পরিবর্তিত হতে শুরু করে; ফলে লাইনটির ফোকাস নষ্ট হয়ে যায়। ল্যাম্পটিই থার্মাল প্রক্রিয়ার “হৃদস্পন্দন”। যখন ল্যাম্পটি ঠিকমতো কাজ না করে, তখন ডিভাইসের কর্মক্ষমতার পরিবর্তে থার্মাল প্রক্রিয়াটি অস্থিতিশীল হয়ে যায়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমাদের নতুন ফিলামেন্টটি লিথোগ্রাফি হটপ্লেট ও কিউর টুলগুলোর জন্য তৈরি করা হয়েছে। এটি স্থিতিশীল স্পেকট্রাল আউটপুট ও নিয়ন্ত্রণযোগ্য তাপমাত্রা প্রদান করে; ফলে ওয়েফারের সমতা ±০.১°C-এর মধ্যেই থাকে।
আমরা ফিলামেন্টের জ্যামিতি ও এমিসিভিটি ঠিক করে হিটার ক্যাভিটির সাথে মিল রাখি; ফলে সেটপয়েন্টটি সেন্সরের অনুযায়ী চলে। উপযুক্ত উপাদান ব্যবহার করার ফলে গ্যাস নির্গমন কমে যায়, ফলে ক্লিনরুমে কণার সংখ্যা Class 1–100-এর মধ্যেই থাকে।
নির্ধারিত শক্তিতে ৫,০০০+ ঘন্টা কাজ করার পরও আউটপুটে ৫% এরও কম হ্রাস ঘটে। ভোল্টেজ/কানেক্টরগুলোও মূল OEM ফিক্সচারগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
কেন এটি ফ্যাব ফ্লোরে গুরুত্বপূর্ণ?
সফট ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো স্থিতিশীল হয়ে যায়। ফটোরেজিস্টের সংবেদনশীলতা বজায় থাকে, ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়, আর ফিল্মের পুরুত্ব স্থিতিশীল থাকে।
পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়। সাইকেল টাইমগুলো পূর্বানুমানযোগ্য হয়। আর প্রতি ওয়েফারে কম শক্তি ব্যবহৃত হয়, কারণ ল্যাম্পটি লক্ষ্যমাত্রা অনুযায়ী কাজ করে। প্যাকেজিংয়েও এই স্থিতিশীলতা গুরুত্বপূর্ণ; কারণ থার্মাল স্ট্রেস উৎপাদনে প্রভাব ফেলে।
কী বিষয়গুলো মনে রাখা দরকার?
ল্যাম্পের গঠনটি টুলের এয়ারফ্লো ও থার্মাল মাস অনুযায়ী হওয়া উচিত। ভিন্ন আকারের ল্যাম্প ব্যবহার করলে ওয়ার্ম-আপ সময় পরিবর্তিত হয়, ফলে বেক প্রক্রিয়াটিও প্রভাবিত হয়।
ইনস্টলেশনের আগে কানেক্টরের অবস্থান ও ভোল্টেজ যাচাই করুন—পোলারিটি মিল না থাকলে সমস্যা হতে পারে। সর্বোত্তম সমতা পেতে, প্রথম ১০০ ঘন্টার পর পাইরোমিটারটি পুনর্নির্ধারণ করুন।