
في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، لا يمكن ترك رقاقات بحجم 300 مم في حالة انتظار حتى يستقر درجة الحرارة. يُحدد “التسخين اللطيف” و“التسخين الشديد” مستوى الحرارة المطلوب، وإذا تغيرت درجة الحرارة أو لم تكن موحدة، فإن التحكم في عرض الخطوط يصبح صعبًا. لذلك، قمنا بتصميم أنابيب التسخين بالأشعة تحت الحمراء التي تعمل لفترات طويلة، من أجل التغلب على هذه المشكلة.
ما يهم من الناحية التقنية تحتوي هذه الأنابيب على مصادر إشعاع تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة داخل غلاف من الكوارتز، مما يوفر تسخينًا سريعًا ومباشرًا، مع استجابة في غضون ثوانٍ. نحافظ على توحيد درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مما يعني أن كل رقاقة تحصل على نفس درجة الحرارة. يظل الأداء مستقرًا لأكثر من 5,000 ساعة، مع انخفاض في شدة الإشعاع بنسبة أقل من 5%. كما أن تصميم الأنبوب يتناسب مع البيئات من الفئة 1 إلى 100، ولا ينتج أي جسيمات أثناء التشغيل.
لماذا يعمل هذا النوع من الأنابيب في الإنتاج تم تصميم هذه الأنابيب لخدمة عملية الإنتاج، وليس فقط لتحديد درجة الحرارة. في عملية تسخين الرقاقات، يساعد هذا النوع من الأنابيب في الحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة، مما يؤدي إلى نتائج أفضل في الإنتاج، وتقليل كمية الرقاقات التالفة بسبب التغيرات في درجة الحرارة. كما أنه يسهل عملية الصيانة، حيث يمكن التخطيط لها مسبقًا بدلاً من التعامل مع أعطال غير متوقعة. كما يقل استهلاك الطاقة، لأن النظام يسخن حسب الحاجة، دون حدوث ارتفاعات غير مرغوب فيها في درجة الحرارة.
بعض الملاحظات العملية يجب أن يتم تركيب الأنبوب بدقة، ويجب أن يكون موضوعًا ضمن المسافات المحددة في الجهاز، وإلا فقد ينتج ذلك نقاطًا ساخنة ويؤدي إلى عدم توحيد درجة الحرارة. بعد تشغيل الأنبوب، يجب الانتظار لفترة قصيرة حتى يصل إلى درجة الحرارة المطلوبة. يجب التخطيط لاستبدال الأنابيب في أوقات محددة، حتى يظل الجهاز يعمل بشكل مستمر. قبل التشغيل، يجب التأكد من أن الجهد وواجهات الاتصال تتوافق مع مواصفات الجهاز.