http://ir-heater-parts.com/vi/tags/ph%C3%B2ng-th%C3%AD-nghi%E1%BB%87m/ Recent content in Phòng Thí Nghiệm on Quality Infrared Heater Parts Hugo vi Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800 http://ir-heater-parts.com/vi/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800 http://ir-heater-parts.com/vi/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Đèn lò phòng thí nghiệm bán dẫn"></p> <p>Trên sàn <a href="https://o-yate.com">litho</a>, không được phép sai số trong quá trình soft bake. Chỉ cần lệch 0,5°C so với mục tiêu thì độ dày lớp photoresist sẽ lệch khỏi thông số kỹ thuật, và ngay lập tức cửa sổ ăn mòn sẽ thu hẹp lại. Đèn lò không chỉ là nguồn nhiệt mà còn là một quá trình nhiệt có thể lập lại, không hơn không kém.</p> <p>Chúng tôi thiết kế đèn này dựa trên ánh sáng hồng ngoại sóng ngắn với bóng halogen thạch anh. Điều này cho phép truyền năng lượng nhanh, trực tiếp và phản hồi nhiệt nhanh. Trên toàn bộ chuck, độ đồng đều ở mức wafer duy trì trong phạm vi ±0,1°C, với điều khiển vòng kín giữ cho ngân sách nhiệt ổn định từ soft bake đến hard bake.</p>