Lò Nướng on Quality Infrared Heater Parts

Lò nướng phòng sạch với bộ sưởi hồng ngoại

Wed, 22 Jul 2026 02:22:26 +0800

Tại sao chúng ta sử dụng lớp phủ vàng trong quy trình xử lý wafer
Khi xây dựng lò nung trong môi trường sạch, thách thức thực sự không chỉ nằm ở việc tăng nhiệt độ mà còn là việc đảm bảo rằng nhiệt lượng được truyền đến đúng vị trí cần thiết. Nếu bạn sử dụng năng lượng để làm nóng các wafer silic nhưng năng lượng lại bị lãng phí do không đến được mục tiêu, thì bạn đang lãng phí năng lượng một cách vô ích. Tệ hơn nữa, điều này khiến các bức tường của lò nung trở thành những “bể hấp thụ nhiệt” khổng lồ. Đây chính là lúc các bộ phản xạ được phủ bằng vàng phát huy tác dụng.

Đèn lò phòng thí nghiệm bán dẫn

Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800

Trên sàn litho, không được phép sai số trong quá trình soft bake. Chỉ cần lệch 0,5°C so với mục tiêu thì độ dày lớp photoresist sẽ lệch khỏi thông số kỹ thuật, và ngay lập tức cửa sổ ăn mòn sẽ thu hẹp lại. Đèn lò không chỉ là nguồn nhiệt mà còn là một quá trình nhiệt có thể lập lại, không hơn không kém.

Chúng tôi thiết kế đèn này dựa trên ánh sáng hồng ngoại sóng ngắn với bóng halogen thạch anh. Điều này cho phép truyền năng lượng nhanh, trực tiếp và phản hồi nhiệt nhanh. Trên toàn bộ chuck, độ đồng đều ở mức wafer duy trì trong phạm vi ±0,1°C, với điều khiển vòng kín giữ cho ngân sách nhiệt ổn định từ soft bake đến hard bake.