فیکٹری میں، 0.5°C کا درجہ حرارتی فرق بھی اہم پیمانوں کو متاثر کرنے کے لئے کافی ہے؛ اس سے پورے پروڈکٹ کو بیکار ہو جاتا ہے۔ جب ویفر ہیٹرز 24/7 کے آپریشن کے دوران فوٹوریزسٹ کو مناسب درجہ حرارت پر رکھنے میں ناکام رہتے ہیں، تو پروڈکشن کی کارکردگی متاثر ہو جاتی ہے۔ ہم نے اپنے صنعتی ویفر ہیٹرز کو ایک اہم شرط کے مطابق ڈیزائن کیا ہے: ایسا تھرمل کنٹرول جو اس وقت بھی کام کرتا رہے، جب پروڈکشن لائن کو بالکل بھی روکنا ممکن نہ ہو۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم پوری سطح پر ویفر کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھتے ہیں، تاکہ فوٹوریزسٹ کا درجہ حرارت مناسب حد میں رہے۔ NIR عناصر سے تیز اور درست درجہ حرارت حاصل کیا جاتا ہے، اور یہ عمل بار بار دہرایا جا سکتا ہے۔ یہ سسٹم کلین روم کلاس 1–100 کے مطابق ہے، اور ہر ہاٹ زون کو ایسے ڈیزائن کیا گیا ہے کہ اس سے کوئی ذرہ خارج نہ ہو، نہ ہی کوئی آلودگی پیدا ہو۔ اس سسٹم سے 24/7 کام کیا جا سکتا ہے، بغیر کسی غیرمتوقع رکاوٹ کے۔
کیوں یہ نظام کامیاب ہے؟
لیتھوگرافی کے عمل میں، حرارت کو ٹریک سائیکل کے ساتھ ہی چلنا ہوتا ہے، نہ کہ سائیکل کو روکنا۔ ہمارے ہیٹرز جلدی ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتے ہیں، اور اسے برقرار رکھتے ہیں؛ اس سے بیکار پروڈکٹس کم ہو جاتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں پروڈکشن کی کارکردگی بہتر ہوتی ہے، اور مرمت کے وقت بھی کم لگتا ہے۔ توانائی کا استعمال بھی بہترین ہے، اور درجہ حرارت کی استحکام بھی برقرار رہتا ہے۔
ہائی-پریسیجن تھرمل سسٹمس کے ساتھ کیا مسئلہ ہے؟
ہائی-پریسیجن تھرمل سسٹمس کے لئے منظم انضمام ضروری ہے۔ ہیٹر کو آپ کے آلے کے انٹرفیس سے مطابقت رکھنا ضروری ہے – پاور سپلائی، کنیکٹر کی قسم، اور سیفٹی انٹرلاکس۔ اس کی جانچ کمیشننگ کے دوران کی جانی چاہیے۔ جب آپ درست درجہ حرارت حاصل کر لیں، تو اس سسٹم سے استحکام اور کلین روم کے مطابقت حاصل ہوتی ہے، جس سے بڑے پیمانے پر پروڈکشن ممکن ہو جاتی ہے۔