http://ir-heater-parts.com/uk/tags/%D0%BF%D1%80%D0%B8%D0%B1%D0%B8%D1%80%D0%B0%D0%BD%D0%BD%D1%8F/ Recent content in Прибирання on Quality Infrared Heater Parts Hugo uk Fri, 05 Jun 2026 01:14:00 +0800 http://ir-heater-parts.com/uk/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Fri, 05 Jun 2026 01:14:00 +0800 http://ir-heater-parts.com/uk/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Сушарка для очищення носіїв пластин"></p> <p>На лінії 300 мм ви знаєте процедуру: носій виходить з вологого столу і все ще несе мікролітри затриманої дистильованої води. Якщо ви не знизите цю вологу до повторювального сухого стану, вона мігрує в фоторезист під час м’якого випікання. Точність CD зменшується, і дефекти починають з’являтися на сканері. Сушарка для очищення носія кремнієвих пластин була створена для того, щоб зупинити цю ланцюгову реакцію на вході.</p> <p><strong>Що насправді має значення під капотом</strong> Ми спроектували сушарку на основі термічної системи високої чистоти, яка забезпечує однорідність на рівні пластини ±0.1°C по всьому носію. Елементи NIR швидко нагріваються без контакту, тому волога відривається без термічної затримки. Шлях високоефективної фільтрації підтримує генерування частинок на нульовому рівні і забезпечує, щоб середовище в камері відповідало класу чистих кімнат 1–100. Результат — повторюване контролювання температури для етапів випікання фоторезисту та повторюваний сухий стан, цикл за циклом.</p>