http://ir-heater-parts.com/tr/tags/mod%C3%BCl/ Recent content in Modül on Quality Infrared Heater Parts Hugo tr Thu, 04 Jun 2026 00:44:04 +0800 http://ir-heater-parts.com/tr/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 04 Jun 2026 00:44:04 +0800 http://ir-heater-parts.com/tr/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Bölgesel kızılötesi ısıtma modülü"></p> <p>Out on the fab floor, 0.5°C’lik bir bake sıcaklığı sapmasının fotoresist profilini ne kadar hızlı bozabileceğini bilirsiniz. Bir partikül artışı, çok sayıda parçanın hurdaya <a href="https://o-yate.net">gitmesine</a> neden olur. Termal davranışı tahmin edilebilir tutmak için, her ısıya bağlı adımda kritik bölgelerde çalışacak zonlu bir kızılötesi ısıtma modülü geliştirdik.</p> <p><strong>What it’s doing under the hood</strong><br> Modül, bağımsız kontrol edilen zonlarda kısa dalga kızılötesi yayıcıları çalıştırır. Her zon, ±0.1°C setpoint kararlılığı ile kapalı çevrim sıcaklık raporu verir; böylece aynı proses tarifi, partiden partiye tutarlı şekilde uygulanır. Tepki hızı, wafer’dan wafer’a termal bütçeyi aşırı ısınma olmadan takip edecek düzeydedir. Sınıf 1–100 temiz oda koşulları için tasarlanmıştır ve sıcak zon izole edilmiştir, böylece partikül oluşumu arka plan seviyelerinde kalır. Tekrarlanabilirliğe odaklanıyoruz çünkü litografi ve paketleme, sadece tepe sıcaklığa değil, enerji dağılımındaki küçük değişimlere karşı hassastır.</p>