Üretim tesislerinde, yumuşak pişirme işlemi sırasında sıcaklık 0,2°C kadar değiştikğinde bunu hissedebilirsiniz; bu durumda fotorezistin kalınlığı değişmeye başlar. Sert pişirme işleminde ise düzensizlikler ortaya çıkar ve hatların odaklanması bozulur. Lamba, termal işlemin kalbinidir. Lamba düzgün çalışmadığında, termal bütçe cihazın performansı yerine değişkenliklere harcanır.
Teknik açıdan önemli olanlar: Yerine koyduğumuz filamanlar, litografi fırınlarında ve kurutma cihazlarında kullanılan kuvars halojen ve kısa dalga boylu kızılötesi sistemler için üretilmiştir. Bu filamanlar, belirlenen sıcaklık aralığında sabit spektral çıkış sağlar ve tekrarlanabilir sıcaklık kontrolü yapar; böylece yonga seviyesindeki düzenlilik ±0,1°C içinde kalır.
Filamanın geometrisini ve emisyon özelliklerini ısıtıcı boşluğuna uyacak şekilde ayarlıyoruz; böylece ayar noktası sensörün değerlerine göre belirlenir. Kullanılan malzeme sayesinde gaz salımı en aza indirgenir ve odada partikül oluşumu engellenir; böylece temiz oda koşulları Class 1–100 seviyesinde kalır.
Belirlenen güçte 5.000 saatten fazla kullanım mümkündür ve çıkışta %5’ten az bir düşüş olur. Ayrıca lamba, hedef sıcaklığı aşmadan sabit tutar. Paketleme süreçlerinde de bu stabilite, düşük sıcaklıkta kurutma ve underfill uygulamaları için önemlidir.
Dikkat edilmesi gerekenler: Lambanın yapısal özelliklerini cihazın hava akışı ve termal özellikleriyle eşleştirmek gerekir. Farklı uzunluklarda lambalar kullanmak, ısınma süresini değiştirebilir ve pişirme işlemini etkileyebilir.
Montajdan önce konektörün yönelimini ve voltajını kontrol edin; polarite hatası sorunlara yol açabilir. En yüksek düzeyde düzenlilik elde etmek için, ilk 100 saat sonrasında pirometrenin ayarlarını yeniden yapın.