ออกจากสาย 300 มม. คุณรู้วิธีการ: ตัวพาหะจะออกจากโต๊ะเปียกและยังคงมีน้ำ DI ที่ติดอยู่ในไมโครลิตร หากคุณไม่ดึงความชื้นนั้นลงสู่สภาวะแห้งที่สามารถทำซ้ำได้ มันจะเข้าไปในฟิล์มโฟโตเรซิสในระหว่างการอบนุ่ม ความทนทานของ CD จะเบี่ยงเบน และข้อบกพร่องเริ่มปรากฏขึ้นบนสแกนเนอร์ เครื่องเป่าทำความสะอาดตัวพาหวานถูกสร้างขึ้นเพื่อหยุดปฏิกิริยานั้นที่ประตู
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ภายในเครื่อง เราออกแบบเครื่องเป่าโดยใช้ระบบความร้อนที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งมีความสม่ำเสมอที่ระดับเวเฟอร์ ±0.1°C ทั่วทั้งตัวพาหะ องค์ประกอบ NIR ให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและไม่สัมผัส ดังนั้นความชื้นจึงหลุดออกโดยไม่มีการหน่วงความร้อน เส้นทางการกรองที่มีประสิทธิภาพสูงช่วยให้การสร้างอนุภาคเป็นศูนย์และทำให้สภาพแวดล้อมในห้องสอดคล้องกับคลาสคลีนรูม 1–100 ผลลัพธ์คือการควบคุมอุณหภูมิที่สามารถทำซ้ำได้สำหรับขั้นตอนการอบฟิล์มโฟโตเรซิสและสภาวะแห้งที่สามารถทำซ้ำได้ รอบแล้วรอบเล่า
นี่คือเหตุผลว่าทำไมสิ่งนี้จึงสำคัญในลิธอกราฟี: งบประมาณความร้อนไม่ใช่สิ่งที่เลือกได้ การอบนุ่มและการอบแข็งต้องอยู่ภายในสเปคเพื่อกำหนดความหนืด การยึดติด และความหยาบของขอบเส้นให้ถูกต้อง เมื่อสารละลายตกค้างและความชื้นเพิ่มความแปรปรวน การกระจายของคุณก็จะกว้างขึ้นและการทำซ้ำจะสะสมอยู่มาก เครื่องเป่านี้ตัดความแปรปรวนออกไป ดังนั้นคุณจึงทำงานได้แน่นแฟ้นขึ้น ลดการเสีย และหยุดการเผาผลาญล็อตในการทำซ้ำ แพลตฟอร์มนี้ถูกสร้างขึ้นเพื่อการทำงานตลอด 24 ชั่วโมงทุกวัน โดยเน้นที่การหยุดชะงักที่ไม่คาดคิดเป็นศูนย์—การบำรุงรักษาที่คาดการณ์ได้ ผลผลิตที่คาดการณ์ได้
มีข้อควรพิจารณาเชิงปฏิบัติอยู่บ้าง เครื่องเป่าตกลงในจุดเชื่อมต่อจากเปียกไปแห้งที่มีอยู่ แต่สาธารณูปโภคในไซต์มีความสำคัญ วางแผนสำหรับการจัดเส้นทางระบายอากาศที่เฉพาะเจาะจงและอากาศอัดที่สะอาดและแห้งเพื่อให้เส้นทางการล้างมีเสถียรภาพ ในโรงงานที่มีความชื้นสูง ขั้นตอนการปรับสภาพความชื้นเล็กน้อยในต้นน้ำสามารถช่วยล็อกเวลาในรอบ เราจับคู่ interface ตัวเชื่อมต่อกับมาตรฐานการจัดการตัวพาหะของคุณ ดังนั้นการติดตั้งจึงยังคงตรงไปตรงมาและคุณจะไม่ทำให้กระบวนการหยุดชะงัก