ในโรงงานผลิตชิป คุณจะสัมผัสได้เมื่ออุณหภูมิในขั้นตอนการอบเปลี่ยนแปลงไปเพียง 0.2°C เพราะความหนาของฟิล์มโฟโตรีซิสต์ก็จะเริ่มเปลี่ยนแปลงไปด้วย นอกจากนี้ ความไม่สม่ำเสมอในการอบก็จะเกิดขึ้น ทำให้เส้นขอบของฟิล์มไม่ชัดเจนอีกต่อไป หลอดไฟคือหัวใจสำคัญของกระบวนการอบ หากหลอดไฟทำงานไม่สม่ำเสมอ ก็จะส่งผลให้ค่าอุณหภูมิไม่สม่ำเสมอ แทนที่จะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของชิป
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
ไส้หลอดที่เราใช้นั้นถูกออกแบบมาสำหรับระบบฮาโลเจนและระบบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นในเครื่องอบชิป ไส้หลอดนี้มีความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอ ทำให้ความสม่ำเสมอของฟิล์มโฟโตรีซิสต์อยู่ในช่วง ±0.1°C เรายังปรับรูปร่างและคุณสมบัติการแผ่รังสีของไส้หลอดให้เหมาะสมกับโครงสร้างของเครื่องอบ เพื่อให้อุณหภูมิที่ตั้งไว้สอดคล้องกับค่าที่เซ็นเซอร์วัดได้ การเลือกวัสดุที่เหมาะสมยังช่วยลดการปล่อยก๊าซและการเกิดอนุภาคในโรงงาน ทำให้จำนวนอนุภาคในห้องสะอาดอยู่ในระดับ Class 1–100
คาดว่าหลอดไฟนี้จะสามารถทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังไฟน้อยกว่า 5% นอกจากนี้ ยังมีความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอ และยังสามารถใช้ร่วมกับอุปกรณ์ของผู้ผลิตรายใหญ่ได้อีกด้วย
เหตุใดจึงมีความสำคัญในโรงงานผลิตชิป
การอบแบบ “soft bake” และ “hard bake” จะทำงานได้อย่างสม่ำเสมอ ความไวของฟิล์มโฟโตรีซิสต์ก็จะได้รับการดูแลอย่างดี ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มก็จะดีขึ้น ทำให้ไม่มีการต้องทำงานซ้ำมากนัก นอกจากนี้ ยังช่วยลดการใช้พลังงานต่อแผ่นชิป เพราะหลอดไฟสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ในขั้นตอนการบรรจุชิป ความสม่ำเสมอนี้ก็มีความสำคัญเช่นกัน เพราะมันช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิในการอบได้อย่างดี
สิ่งที่ควรคำนึงถึง
ควรเลือกหลอดไฟให้เหมาะสมกับระบบการไหลของอากาศและความสามารถในการรับความร้อนของเครื่องอบ การเปลี่ยนความยาวของหลอดไฟอาจส่งผลให้เวลาในการอุ่นเครื่องเปลี่ยนไป และอาจส่งผลต่ออุณหภูมิในขั้นตอนการอบด้วย ควรตรวจสอบทิศทางการเชื่อมต่อและแรงดันไฟก่อนการติดตั้ง เพราะการเชื่อมต่อที่ผิดอาจส่งผลเสียได้ หากต้องการความสม่ำเสมอสูงสุด ควรปรับค่าของเครื่องวัดอุณหภูมิอีกครั้งหลังจากใช้งานไป 100 ชั่วโมง เพื่อให้ได้ค่าที่แม่นยำยิ่งขึ้น