วิธีทำให้แผ่นวัสดุ MEMS แห้งโดยไม่มีปัญหา
เมื่อคุณผลิตเซ็นเซอร์ MEMS ความชื้นถือเป็นศัตรูตัวฉกาจ แต่คุณไม่สามารถใช้ความร้อนเพื่อกำจัดความชื้นได้เพียงอย่างเดียว เพราะความร้อนที่มากเกินไปหรือการปนเปื้อนเล็กน้อยก็อาจทำให้แผ่นวัสดุมีค่าใช้จ่ายสูงนั้นกลายเป็นขยะได้
นั่นคือเหตุผลที่เราใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดความเข้มสูง เพราะมันช่วยให้การทำงานเสร็จเร็วขึ้น คุณไม่จำเป็นต้องรอให้เตาอบทั่วไปทำงาน ซึ่งจะช่วยประหยัดพื้นที่และลดเวลาการผลิตลงได้อย่างมาก
เคล็ดลับอยู่ที่กำลังไฟ
เราใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น เพราะมันสามารถทะลุชั้นของเหลวบนพื้นผิวเซ็นเซอร์ได้โดยตรง เราใช้กำลังไฟสูง เพื่อให้น้ำระเหยออกไปทันทีที่สัมผัสกับความร้อน หากไม่เป็นเช่นนั้น ก็จะเกิดจุดน้ำขึ้นบนพื้นผิวเซ็นเซอร์ และในโลกของ MEMS จุดน้ำเหล่านี้ถือเป็นภัยร้ายแรงต่อวงจรอิเล็กทรอนิกส์
แน่นอนว่าต้องมีการปรับสมดุลด้วย กำลังไฟที่สูงขึ้นหมายถึงการทำงานที่เร็วขึ้น แต่ก็หมายถึงระบบจ่ายไฟต้องสามารถรองรับภาระได้ด้วย คุณต้องหาจุดที่เหมาะสมสำหรับอัตราการผลิตของคุณ
ทำให้กระบวนการผลิต“ฉลาด”ขึ้น
ปัจจุบันทุกคนต้องการข้อมูลมากขึ้น เราจึงทำให้ระบบอินฟราเรดของเราสามารถทำงานร่วมกับระบบที่มีอยู่ได้ เรามีตัวควบคุม PID และเซ็นเซอร์แบบเรียลไทม์ที่สามารถเชื่อมต่อกับระบบ MES ได้โดยตรง
มันเหมือนกับการมีบันทึกดิจิทัลสำหรับแต่ละแผ่นวัสดุ หากไฟเริ่มอ่อนลงหรือเซ็นเซอร์มีค่าผิดปกติ ระบบก็จะแจ้งให้คุณทราบทันที ซึ่งดีกว่าการมาค้นพบว่าคุณทิ้งแผ่นวัสดุไปทั้งชุดหลังจากที่ผลิตเสร็จแล้ว
ความจริงอันยากลำบากของอุปกรณ์ฮาร์ดแวร์
อุปกรณ์เหล่านี้ต้องทำงานตลอด 24 ชั่วโมง ซึ่งเป็นภาระอย่างมากต่ออุปกรณ์ เราใช้เปลือกควอตซ์และไส้หลอดพิเศษเพื่อให้แสงมีความบริสุทธิ์ แต่อุปกรณ์เหล่านี้ก็ยังคงเสื่อมสภาพได้อยู่ดี
นอกจากนี้ เนื่องจากอินฟราเรดมีลักษณะเป็นแสงที่มีทิศทาง การจัดตำแหน่งจึงมีความสำคัญมาก หากไฟอยู่ห่างกันเพียงไม่กี่มิลลิเมตร ก็จะเกิดจุดที่ไม่ได้รับความร้อนขึ้นบนแผ่นวัสดุ ซึ่งจะทำให้การทำให้แผ่นวัสดุแห้งไม่สม่ำเสมอ และก่อให้เกิดปัญหาต่างๆ
นอกจากนี้ ความร้อนทั้งหมดก็ต้องมีที่ระบายด้วย หากระบบระบายความร้อนของเครื่องไม่ดีพอ ก็จะทำให้อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์รอบๆ เครื่องทำความร้อนเสียหายได้ มันเป็นการปรับสมดุลที่ละเอียดอ่อน แต่เมื่อปรับได้อย่างเหมาะสม ก็จะทำงานได้อย่างดี