http://ir-heater-parts.com/ru/tags/%D0%BB%D0%B0%D0%B1%D0%BE%D1%80%D0%B0%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%BD%D1%8B%D0%B9/ Recent content in Лабораторный on Quality Infrared Heater Parts Hugo ru Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800 http://ir-heater-parts.com/ru/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800 http://ir-heater-parts.com/ru/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Лампа печи полупроводниковой лаборатории"></p> <p>На литографическом этаже для софт-бейка нет места для ошибок. Сдвиг всего на 0,5°C от заданной температуры приводит к отклонению толщины фоторезиста от спецификации, и вскоре окно травления сужается. Лампа печи — это не просто источник тепла, а повторяемый термический процесс, и это основное требование.</p> <p>Лампа построена на коротковолновом ИК-излучении с кварцевыми галогенными излучателями. Это обеспечивает быстрый, прямой перенос энергии и оперативный тепловой отклик. По всему чаку однородность температуры на уровне пластин держится в пределах ±0,1°C благодаря системе управления с замкнутым контуром, поддерживающей стабильный тепловой бюджет на всех этапах — от софт-бейка до хард-бейка.</p>