Печь для чистых комнат с инфракрасным нагревателем

Wed, 22 Jul 2026 02:22:19 +0800

Почему мы используем золотое покрытие при обработке кремниевых пластин
При создании печей для чистых помещений главная проблема заключается не столько в том, чтобы достичь высокой температуры, сколько в том, чтобы убедиться, что тепло действительно достигает нужного места. Если вы нагреваете кремниевые пластины, а энергия рассеивается по корпусу печи вместо того, чтобы попадать на поверхность пластин, это просто раздражает. Что ещё хуже, стены печи превращаются в огромные радиаторы. Именно здесь и пригождаются отражатели с золотым покрытием.

Лампа печи полупроводниковой лаборатории

Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800

На литографическом этаже для софт-бейка нет места для ошибок. Сдвиг всего на 0,5°C от заданной температуры приводит к отклонению толщины фоторезиста от спецификации, и вскоре окно травления сужается. Лампа печи — это не просто источник тепла, а повторяемый термический процесс, и это основное требование.

Лампа построена на коротковолновом ИК-излучении с кварцевыми галогенными излучателями. Это обеспечивает быстрый, прямой перенос энергии и оперативный тепловой отклик. По всему чаку однородность температуры на уровне пластин держится в пределах ±0,1°C благодаря системе управления с замкнутым контуром, поддерживающей стабильный тепловой бюджет на всех этапах — от софт-бейка до хард-бейка.

Духовка on Quality Infrared Heater Parts

Печь для чистых комнат с инфракрасным нагревателем

Лампа печи полупроводниковой лаборатории