Aquecedor infravermelho para fornos em salas limpas

Wed, 22 Jul 2026 02:22:19 +0800

Por que usamos revestimentos de ouro no processamento de wafers

Quando se constrói um forno para ambiente controlado, o verdadeiro desafio não é apenas aumentar a temperatura. O importante é garantir que o calor chegue exatamente onde é necessário. Se você estiver aquecendo wafers de silício e a energia se dispersa pelo chassi do forno, em vez de atingir o alvo, você está apenas desperdiçando energia. Pior ainda: isso faz com que as paredes do forno funcionem como dissipadores de calor. É aí que entram os refletores revestidos de ouro.

Lâmpada de forno de laboratório de semicondutores

Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800

No piso de litografia, você não pode dar margem para erros no soft bake. Um desvio de apenas 0,5°C e a espessura do fotorresiste já sai da especificação, e antes que perceba, a janela de gravação está encolhendo. A lâmpada do forno não é apenas uma fonte de calor—é um processo térmico repetível, ponto final.

Construímos essa lâmpada com base em infravermelho de onda curta, usando emissores de quartzo halógeno. Isso oferece transferência de energia rápida e direta e resposta térmica ágil. Pelo chuck, a uniformidade a nível de wafer mantém-se em ±0,1°C, com controle em malha fechada que mantém o orçamento térmico estável do soft bake até o hard bake.

Forno on Quality Infrared Heater Parts

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