Como obter o aquecimento ideal em sua fábrica inteligente
Se você está construindo uma fábrica do tipo Industry 4.0, provavelmente já percebeu que os sistemas de aquecimento convencionais não são mais suficientes.
O problema é que, em condições de vácuo, a convecção não existe mais. Não se pode contar com o ar para distribuir o calor. Resta apenas a radiação, e é aí que as coisas ficam complicadas. É por isso que recorremos a sistemas de infravermelho de alta densidade. Eles entregam a energia exatamente onde é necessária, para o processamento de wafers e para a deposição de filmes finos, sem aquele atraso causado pelos elementos de aquecimento tradicionais.
Pare de agir às cegas
A maioria dos aquecedores padrão é, basicamente, “cega”. Eles simplesmente emitem calor, na esperança de que tudo funcione bem.
Nós fazemos as coisas de maneira diferente. Utilizamos lâmpadas infravermelhas em conjunto com controladores PID de circuito fechado e sistemas de medição de temperatura em tempo real. Isso permite que você veja o perfil térmico da câmara em milissegundos. Ao usar SCRs para ajustar a potência, é possível alterar o fluxo de calor instantaneamente.
Não há mais sobreaquecimento. Não há mais necessidade de adivinhações. O intervalo de operação permanece exatamente onde deveria estar.
Potência versus precisão
Em condições de vácuo, lidamos com gradientes de temperatura bastante extremos. Para lidar com isso, utilizamos tecnologia de quartzo-halogênio, que permite concentrar muita potência em um espaço pequeno.
É rápido. Muito rápido. Isso significa que os tempos de aquecimento diminuem, e os ciclos de trabalho ficam muito mais curtos.
Mas há um detalhe importante: as lâmpadas de alta potência ficam extremamente quentes nas extremidades. Se você poupar no sistema de refrigeração ou usar especificações incorretas, seus selos podem derreter ou a flange da câmara pode se deformar. Acredite em mim, você não quer lidar com isso. O único jeito é utilizar um sistema de resfriamento eficaz.
Um sistema que realmente cresce com você
A melhor coisa sobre o uso de arrays infravermelhos modulares é que você pode ajustar as zonas de aquecimento conforme necessário. Você pode conectar bancos de aquecimento independentes para resolver problemas relacionados à perda de calor nas bordas das wafers maiores. Isso torna o sistema flexível. Se precisar alterar o mapa de aquecimento, basta ajustar o software. Não é preciso trocar componentes físicos ou passar um fim de semana reconstruindo a câmara.
Isso transforma seu sistema de aquecimento em uma ferramenta que realmente pode ser programada, em vez de ser apenas um componente metálico estático.