Het juiste warmtesteam in je slimme fabriek
Als je een Industry 4.0-fabriek bouwt, heb je vast al gemerkt dat traditionele weerstandsheaters niet meer voldoen. Dit is het probleem: in een vacuüm verdwijnt convectie. Je kunt niet vertrouwen op lucht om hitte te verspreiden. Dan blijft alleen nog straling over, en daar wordt het lastig. Daarom maken we gebruik van hoogdichte infrarood (IR)-systemen. Zij leveren energie precies waar die nodig is voor het bewerken van wafers en het deposteren van dunne lagen, zonder de storende vertraging die je hebt met traditionele verwarmingsonderdelen.
Stop met raden
De meeste standaardverwarmers zijn eigenlijk “blind”. Ze produceren gewoon hitte en hopen op het beste. Wij doen het anders. We koppelen onze IR-lampen aan PID-controllers met een gesloten circuit en real-time pyrometrie. Hierdoor kun je het thermische profiel van je chambre in milliseconden zien. Door SCRs te gebruiken om de stroomsterkte aan te passen, kun je de warmtestroom onmiddellijk veranderen. Geen thermische overtollige warmte meer. Geen gokken meer. Je proces blijft precies op de juiste plek.
Stroomsterkte versus precisie
In een vacuüm kom je te maken met zeer hoge temperatuurverschillen. Om dit aan te gaan, gebruiken we kwarts-halogenteknologie om veel wattage in een kleine ruimte onder te brengen. Het gaat snel. Heel snel. En dat betekent dat de opstarttijd korter wordt en de cyclustijden sterk verkorten. Maar er is een nadeel. Hartslampen worden aan de uiteinden extreem heet. Als je goedkoop uitgaat van koelingssystemen of de specificaties verkeerd inschat, kunnen de afsluitingen smelten of kunnen de randen van de chambre vervormen. Geloof me, dat wil je echt niet meemaken. Een goede warmteafvoer is de enige oplossing.
Een systeem dat echt met je meegroeit
Het beste aan het gebruik van modulaire IR-array’s is dat je de verwarmingzoneën kunt aanpassen naarmate je vordert. Je kunt aparte banken aansluiten om die storende “randproblemen” bij grotere wafers op te lossen. Dit maakt het systeem flexibel. Als je de warmteverdeling wilt veranderen, hoef je alleen maar de software aan te passen. Je hoeft geen hardware weg te halen of een weekend te besteden aan het herstellen van de chambre. Hierdoor wordt je verwarmingssysteem een tool die je echt kunt programmeren, in plaats van alleen maar een statisch stuk metaal.