Op de productieafdeling merk je het wanneer het ‘zachte’ bakproces met 0,2°C afwijkt: de dikte van de fotorezyst begint toenemend te variëren. Hierdoor wordt de uniformiteit van het proces verstoord en verliest het product zijn focus. De lamp is dus cruciaal voor het thermische proces. Wanneer de lamp niet goed werkt, leidt dat tot onregelmatigheden in het proces, in plaats van een goede prestatie van het apparaat.
Wat technisch gezien belangrijk is: Onze vervangende filamenten zijn ontworpen voor kwartzhalogeen- en kortegolflengte-IR-systemen die worden gebruikt in lithografische apparaten. Ze zorgen voor een stabiele spectrale uitstoot en een nauwkeurige temperatuurregeling gedurende het hele proces. Hierdoor blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C.
We passen de geometrie en emissiviteit van het filament aan op de behoeften van de verwarmingseenheid, zodat de ingestelde temperatuur overeenkomt met de gegevens van de sensor. Door de juiste materialen te gebruiken, wordt de uitstoot van gassen en de vorming van deeltjes geminimaliseerd. Hierdoor blijft het aantal deeltjes in de schone ruimte op hetzelfde niveau, namelijk tussen Class 1 en 100.
Je kunt rekenen op meer dan 5.000 uur gebruik bij de nominale vermogenssterkte, met minder dan 5% daling in de uitstoot. Bovendien is er sprake van een consistent procesverloop en is de spanning/connectoren compatibel met standaard OEM-apparaten.
Waarom dit belangrijk is in de productie: Het ‘zachte’ en ‘harde’ bakproces kunnen zo stabiel worden gehouden. Hierdoor kan men rekening houden met de gevoeligheid van de fotorezyst. De controle over de dikte van het filmdraad verbetert, waardoor de uniformiteit over meerdere batches behouden blijft.
Er zijn minder herwerkingen nodig. De cyclustijden zijn voorspelbaar. Bovendien wordt er minder energie verbruikt per chip, omdat de lamp de gewenste temperatuur behoudt zonder te veel te overschrijden. In het verpakkingsproces is deze stabiliteit eveneens belangrijk, vooral bij lage temperatuurprocessen en bij het toevoegen van ondervulling. Hierbij speelt de thermische belasting een cruciale rol voor de kwaliteit van het eindproduct.
Dingen om in gedachten te houden: Zorg ervoor dat de lamp past bij de luchtcirculatie en de thermische eigenschappen van het apparaat. Het vervangen van de lamp door een lamp met een andere lengte kan de opwarmtijd beïnvloeden en het bakproces verstoren.
Controleer voor installatie de oriëntatie van de connectoren en de spanning. Een onjuiste polariteit kan problemen veroorzaken. Voor maximale uniformiteit moet de pyrometer na de eerste 100 uur opnieuw worden gekalibreerd.