http://ir-heater-parts.com/ms/tags/zon-yang-ditetapkan/ Recent content in Zon Yang Ditetapkan on Quality Infrared Heater Parts Hugo ms Thu, 04 Jun 2026 00:44:04 +0800 http://ir-heater-parts.com/ms/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 04 Jun 2026 00:44:04 +0800 http://ir-heater-parts.com/ms/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Modul pemanasan inframerah zon"></p> <p>Out on the fab floor, anda tahu betapa cepatnya perubahan 0.5°C dalam suhu bake boleh mengganggu profil fotoresist. Satu lonjakan partikel sahaja, dan anda terpaksa membuang banyak produk. Kami membangunkan modul pemanasan inframerah zon untuk memastikan tingkah laku terma dapat diramal—tepat di tempat yang penting, merentasi setiap langkah yang bergantung pada haba.</p> <p><strong>Apa yang berlaku di dalamnya</strong><br> Modul ini menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang dikawal secara bebas mengikut zon. Setiap zon melaporkan suhu dalam gelung tertutup dengan kestabilan setpoint ±0.1°C, supaya resipi yang sama menghasilkan keputusan yang sama, lot demi lot. Responsnya cukup pantas untuk menjejak bajet terma wafer ke wafer tanpa lebihan suhu. Ia direka untuk bilik bersih Kelas 1–100, dan zon panas diasingkan supaya penghasilan partikel kekal pada tahap latar belakang. Kami menumpukan pada kebolehulangan kerana litografi dan pembungkusan sensitif terhadap perubahan kecil dalam penghantaran tenaga, bukan hanya suhu puncak.</p>