http://ir-heater-parts.com/ko/tags/%EC%98%A4%EB%B8%90/ Recent content in 오븐 on Quality Infrared Heater Parts Hugo ko Wed, 22 Jul 2026 02:22:27 +0800 http://ir-heater-parts.com/ko/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Wed, 22 Jul 2026 02:22:27 +0800 http://ir-heater-parts.com/ko/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="클린룸 오븐 적외선 히터"></p> <p>왜 웨이퍼 처리에 금 코팅을 사용하는가?<br> 클린룸 오븐을 만들 때 진짜 어려운 점은 단순히 열을 높이는 것이 아닙니다. 중요한 것은 그 열이 정확히 원하는 곳으로 가도록 하는 것입니다.<br> 만약 실리콘 웨이퍼를 가열할 때 에너지가 목표물이 아닌 오븐의 다른 부분으로 흘러간다면, 그건 에너지 낭비일 뿐입니다. 더욱 나쁜 것은, 오븐의 벽이 거대한 방열체가 되어버린다는 것입니다. 이때 바로 금 코팅된 반사체가 필요합니다.</p> http://ir-heater-parts.com/ko/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800 http://ir-heater-parts.com/ko/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="반도체 실험실 오븐 램프"></p> <h1 id="리소그래피-층에서-소프트-베이크에-여유를-주어서는-안-됩니다-목표-온도에서-05c만-벗어나도-포토레지스트-두께가-사양에서-벗어나고-그-사이에-에칭-윈도우가-줄어들게-됩니다-오븐-램프는-단순한-열원이-아니라-반복-가능한-열-프로세스입니다">리소그래피 층에서 소프트 베이크에 여유를 주어서는 안 됩니다. 목표 온도에서 0.5°C만 벗어나도 포토레지스트 두께가 사양에서 벗어나고, 그 사이에 에칭 윈도우가 줄어들게 됩니다. 오븐 램프는 단순한 열원이 아니라 반복 가능한 열 프로세스입니다.</h1> <p>우리는 이 램프를 석영 할로겐 방출체를 사용한 단파 적외선으로 설계했습니다. 이는 빠르고 직접적인 에너지 전달과 민첩한 열 반응을 제공합니다. 척에 걸쳐 웨이퍼 수준의 균일성은 ±0.1°C를 유지하며, 소프트 베이크부터 하드 베이크까지 열 예산을 안정적으로 유지하는 폐쇄 루프 제어 기능이 있습니다.</p>