http://ir-heater-parts.com/ko/tags/%EC%8B%A4%ED%97%98%EC%8B%A4/ Recent content in 실험실 on Quality Infrared Heater Parts Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800 http://ir-heater-parts.com/ko/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800 http://ir-heater-parts.com/ko/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="반도체 실험실 오븐 램프"></p> <h1 id="리소그래피-층에서-소프트-베이크에-여유를-주어서는-안-됩니다-목표-온도에서-05c만-벗어나도-포토레지스트-두께가-사양에서-벗어나고-그-사이에-에칭-윈도우가-줄어들게-됩니다-오븐-램프는-단순한-열원이-아니라-반복-가능한-열-프로세스입니다">리소그래피 층에서 소프트 베이크에 여유를 주어서는 안 됩니다. 목표 온도에서 0.5°C만 벗어나도 포토레지스트 두께가 사양에서 벗어나고, 그 사이에 에칭 윈도우가 줄어들게 됩니다. 오븐 램프는 단순한 열원이 아니라 반복 가능한 열 프로세스입니다.</h1> <p>우리는 이 램프를 석영 할로겐 방출체를 사용한 단파 적외선으로 설계했습니다. 이는 빠르고 직접적인 에너지 전달과 민첩한 열 반응을 제공합니다. 척에 걸쳐 웨이퍼 수준의 균일성은 ±0.1°C를 유지하며, 소프트 베이크부터 하드 베이크까지 열 예산을 안정적으로 유지하는 폐쇄 루프 제어 기능이 있습니다.</p>