http://ir-heater-parts.com/ja/tags/nir/ Recent content in NIR on Quality Infrared Heater Parts Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 01:14:43 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Sat, 27 Jun 2026 01:14:43 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="近赤外線 NIR ウェハードライヤー"></p> <p>ファブ内では、よく知られている通り、ウェーハが洗浄工程を経て出てきたときには、まだ微少量の水分が残っています。その水分を取り除くには、ホットプレートを使って数分間かかります。1分1分が工程時間を長引かせてしまいます。さらに悪いことに、均一でない加熱によって熱応力が生じ、それがパターンのずれとして現れます。NIRウェーハドライヤーは、この問題を解決するために作られました。</p>