http://ir-heater-parts.com/ja/tags/mems-%E3%83%A1%E3%83%A0%E3%82%B9/ Recent content in MEMS (メムス) on Quality Infrared Heater Parts Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 01:10:09 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/mems-wafer-drying-heater/ Sun, 07 Jun 2026 01:10:09 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="MEMSウェーハ乾燥ヒーター"></p> <p>MEMSウェーハが最終リンスから出てくる様子を観察してください。乾燥ヒーターが十分に機能しなければ、ウォーターマークが発生し、その結果、フォトレジストの付着不良が起こり、計測段階に至る前にロット全体が不良品になります。当社はその変動要因を排除するためにMEMSウェーハ乾燥ヒーターを開発しました。</p>