http://ir-heater-parts.com/ja/tags/%E9%83%A8%E5%B1%8B%E5%AE%A4/ Recent content in 部屋、室 on Quality Infrared Heater Parts Hugo ja Sun, 19 Jul 2026 08:00:23 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Sun, 19 Jul 2026 08:00:23 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <p>スマートファブで適切な加熱を実現するには<br> もしあなたがインダストリー4.0対応のファブを構築しているのであれば、従来の抵抗加熱ではもはや不十分だということを既にご存知でしょう。<br> 問題は、真空状態では対流が起こらないという点です。空気を利用して熱を移動させることはできません。そうなると、残されるのは放射熱だけですが、これは厄介です。だからこそ、高密度の赤外線システムを利用するのです。このシステムにより、ウェーハ処理や薄膜形成に必要な場所に正確にエネルギーを供給でき、従来の加熱要素に見られる遅延もありません。</p>