http://ir-heater-parts.com/ja/tags/%E8%87%AA%E5%8B%95%E5%8C%96%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%9F/ Recent content in 自動化された on Quality Infrared Heater Parts Hugo ja Sun, 31 May 2026 23:47:38 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/automated-wafer-drying-heater/ Sun, 31 May 2026 23:47:38 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="自動ウェハ乾燥ヒーター"></p> <p>ライン上ではドリフトは許されない。ウェーハ全体でわずかに数十分の1℃でもずれたソフトベークは、フォトレジストのプロファイルに現れる―エッジビードの不均一、膜厚勾配、規格外へ逸脱するライン幅制御などだ。洗浄直後の乾燥工程は、残留水分や微小液滴痕が収率低下の原因となる段階であり、高価なマスクや露光工程が終わった後で問題が発覚することが多い。ウェーハの下にあるヒーターは単に温かいだけでは不十分である。精密で清浄かつ繰り返し可能でなければならず、シフト毎に安定した性能を維持しなければならない。<br> 我々はその現実に対応するために<a href="https://henruite.com">自動化</a>されたウェーハ乾燥ヒーターを設計した。これはクリーンルーム向けに調整された汎用ホットプレートではなく、リソグラフィおよびウェーハ前処理の制約を踏まえたプロセスクリティカルな熱モジュールであり、温度<a href="https://o-yate.com">均一性</a>、粒子制御、稼働率が妥協できない条件に合わせて設計されている。</p>