http://ir-heater-parts.com/ja/tags/%E4%BA%BA%E7%94%9F/ Recent content in 人生 on Quality Infrared Heater Parts Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 02:06:52 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/long-life-infrared-heating-tube/ Sun, 21 Jun 2026 02:06:52 +0800 http://ir-heater-parts.com/ja/posts/long-life-infrared-heating-tube/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="長寿命の赤外線ヒーターチューブ"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、300mmウェーハをそのまま放置してヒーターが安定するのを待つわけにはいきません。ソフトベイクとハードベイクによって温度制御が行われますが、もし温度が不安定だったり均一でなかったりすると、線幅の制御が困難になります。そこで、このような不確実性を排除するために、長寿命型の赤外線ヒーターチューブが開発されました。</p>