ドレイヤー on Quality Infrared Heater Parts

デジタル赤外線乾燥機コントローラー

Sun, 26 Jul 2026 11:35:32 +0800

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が発生するという問題がどれほど厄介かをご存知でしょう。安価なヒーターコイルや低品質なランプから出る微小な破片だけで、ウェーハや高精度な光学部品が損傷してしまいます。本当に面倒ですね。

近赤外線 NIR ウェハードライヤー

Sat, 27 Jun 2026 01:14:43 +0800

ファブ内では、よく知られている通り、ウェーハが洗浄工程を経て出てきたときには、まだ微少量の水分が残っています。その水分を取り除くには、ホットプレートを使って数分間かかります。1分1分が工程時間を長引かせてしまいます。さらに悪いことに、均一でない加熱によって熱応力が生じ、それがパターンのずれとして現れます。NIRウェーハドライヤーは、この問題を解決するために作られました。

カセット洗浄用赤外線ドライヤー

Wed, 17 Jun 2026 11:16:47 +0800

ウェハ製造工程において、湿ったカセットは単なるボトルネックというだけでなく、汚染の原因にもなります。残っている水分が表面の欠陥を引き起こし、たった一つの水滴でも生産効率を台無しにする可能性があります。従来の乾燥方法では、熱の偏りが生じ、水が端や角部分に残ってしまいます。そのため、中心部だけでなく、カセット全体を均一に乾燥させる乾燥機が必要です。

赤外線加熱：ミリメートル単位の均一性と再現性

私たちは、制御されたNIR放射と、ミリメートル単位の精度で均一な熱分布を実現する赤外線乾燥機を開発しました。これにより、カセット全体にわたって再現性の高い温度プロファイルが得られ、荷物の配置が変わっても均一性が保たれます。フォトレジストの焼成工程においては、熱の安定性が非常に重要です。このシステムは、サイクルごとに安定した性能を発揮し、クリーンルームのクラス1～100に適応し、運転中に粒子が発生することもありません。また、加熱プロファイルは完全に再現可能で、品質管理に役立ちます。

ウエハーキャリアクリーニングドライヤー

Fri, 05 Jun 2026 01:13:59 +0800

300mmラインでの作業

濡れベンチからキャリアが出てくると、マイクロリットルのDI水が閉じ込められた状態で残っています。この湿気を再現可能な乾燥状態に引き下げないと、ソフトベーク中にフォトレジストに移動してしまいます。CD公差がずれ、スキャナーに欠陥が現れ始めます。ウェーハキャリアのクリーニングドライヤーは、その連鎖反応を扉のところで止めるために設計されました。

実際の重要点 私たちは、キャリア全体で±0.1°Cのウェーハレベルの均一性を保持する高純度熱システムを中心にドライヤーを設計しました。NIR要素は迅速かつ接触なしに加熱するため、湿気は熱遅延なしに浮き上がります。高効率のフィルトレーションパスは粒子生成をゼロに保ち、チャンバー環境をクリーンルームClass 1–100に整えます。これにより、フォトレジストのベークステップにおける再現可能な温度制御と再現可能な乾燥状態が得られます。

靴乾燥ヒーター

Mon, 25 May 2026 23:02:28 +0800

この靴乾燥機用ヒーターについて話しましょう。私たちは非常に具体的な問題を解決するためにこれを作りました。それは、必要な場所に素早く強烈な熱を届けること、しかも場所をあまり取らずにということです。
そこでコンパクトで高強度のハロゲン管を選びました。これを操作の中核と考えてください。通常は長さ300mmで、400V仕様に設定でき、最大2500Wのパワーを持っています。