Forno per ambienti sterili _con riscaldatore a infrarossi

Wed, 22 Jul 2026 02:22:27 +0800

Perché utilizziamo rivestimenti in oro per la lavorazione dei wafer
Quando si costruisce un forno per ambienti puliti, la vera sfida non è soltanto aumentare la temperatura. È necessario assicurarsi che il calore vada effettivamente dove deve arrivare.
Se si riscaldano i wafer di silicio e l’energia prodotta rimane intrappolata all’interno del forno, invece di raggiungere il wafer stesso, si sta semplicemente sprecando energia. Peggio ancora, le pareti del forno diventano dei “rimutatori di calore” giganteschi. È qui che entrano in gioco i riflettori rivestiti in oro.

Lampada del forno per laboratorio di semiconduttori

Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800

Sulla linea litho, non si può concedere margine di errore al soft bake. Spostarsi di appena 0,5°C rispetto al valore target fa sì che lo spessore del photoresist si discosti dalla specifica, e in breve la finestra di incisione si restringe. La lampada del forno non è semplicemente una sorgente di calore: è un processo termico ripetibile, punto e basta.

Abbiamo progettato questa lampada attorno all’infrarosso a onda corta con emettitori a quarzo alogeni. Questo assicura un trasferimento di energia rapido e diretto, con una risposta termica pronta. Sul chuck, l’uniformità a livello wafer si mantiene entro ±0,1°C, con controllo in closed-loop che mantiene costante il budget termico dal soft bake al hard bake.

Forno on Quality Infrared Heater Parts

Forno per ambienti sterili _con riscaldatore a infrarossi

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