Come ottenere una corretta distribuzione del calore nella propria fabbrica intelligente
Se state costruendo una fabbrica secondo i principi dell’Industry 4.0, probabilmente avrete già capito che i tradizionali sistemi di riscaldamento a resistenza non sono più adatti per questo scopo.
Il problema è che, in condizioni di vuoto, la convezione non funziona più: non si può contare sull’aria per far circolare il calore. Resta quindi soltanto la radiazione, e qui le cose diventano complicate. Ecco perché utilizziamo sistemi a infrarossi ad alta densità: questi permettono di distribuire l’energia esattamente dove è necessaria, per lo trattamento dei wafer e per la deposizione di film sottili, senza quei ritardi causati dai tradizionali elementi riscaldanti.
Niente più supposizioni
La maggior parte dei riscaldatori standard funziona in modo “cieco”: emettono semplicemente calore, sperando nel meglio. Noi invece procediamo diversamente: abbiniamo le nostre lampade a infrarossi a controller PID a circuito chiuso e a sistemi di misurazione in tempo reale. In questo modo è possibile visualizzare il profilo termico della camera in pochi millisecondi. Utilizzando SCR per regolare la potenza, si può modificare istantaneamente il flusso di calore. Niente più squilibri termici… Il vostro processo rimane sempre sotto controllo.
Potenza contro precisione
In condizioni di vuoto, bisogna affrontare gradi di temperatura molto elevati. Per gestire questa situazione, utilizziamo tecnologie a base di quarzo e halogeni, che permettono di concentrare molta potenza in uno spazio ridotto. È veloce… davvero molto veloce. Ciò significa che i tempi di avviamento diminuiscono e i tempi di ciclo si accorciano notevolmente.
Tuttavia c’è un problema: le lampade ad alta potenza diventano estremamente calde alle estremità. Se si utilizzano sistemi di raffreddamento scadenti o se le specifiche tecniche non sono corrette, i sigilli della camera possono sciogliersi o le sue pareti possono deformarsi. Credetemi, non vorrete certo affrontare questo tipo di problemi. L’unico modo per evitarlo è utilizzare sistemi di raffreddamento efficaci.
Un sistema che cresce insieme a voi
Il vantaggio principale dell’uso di array a infrarossi modulari è che è possibile modificare le zone di riscaldamento man mano che le necessità cambiano. È possibile collegare gruppi di lampade indipendenti per risolvere i problemi legati alla perdita di calore alle estremità dei wafer più grandi. Questo rende tutto molto flessibile: se è necessario modificare la distribuzione del calore, basta modificare il software. Non è necessario sostituire l’hardware o passare un fine settimana a ricostruire la camera. In questo modo, il sistema di riscaldamento diventa uno strumento che si può effettivamente programmare, anziché semplicemente un pezzo di metallo statico.