Pengering inframerah untuk pembersihan kaset

Wed, 17 Jun 2026 11:16:47 +0800

Di area produksi wafer, kaset yang masih basah bukan hanya menjadi penghambat proses produksi, tetapi juga membuka peluang bagi terjadinya kontaminasi. Kelembapan yang tersisa dapat menyebabkan kerusakan pada permukaan kaset, dan hal ini tentu akan berdampak negatif pada kualitas wafer yang dihasilkan. Metode pengeringan konvensional menciptakan gradien suhu yang menyebabkan air tetap menetap di bagian tepi dan sudut-sudut kaset. Anda membutuhkan alat pengering yang mampu mengeringkan seluruh bagian kaset, bukan hanya bagian tengahnya saja.

Pemanasan inframerah: keseragaman hingga tingkat sub-milimeter, hasil yang dapat diprediksi

Alat pengering inframerah ini dirancang berdasarkan emisi cahaya NIR yang terkendali, sehingga menciptakan medan termal yang seragam hingga tingkat sub-milimeter. Dengan demikian, suhu di seluruh permukaan kaset tetap seragam, bahkan ketika konfigurasi kaset berubah. Proses pemanasan fotoresist sangat bergantung pada stabilitas suhu. Sistem ini mampu memberikan hasil yang konsisten dari siklus ke siklusnya. Alat ini juga kompatibel dengan lingkungan cleanroom kelas 1–100, tidak menghasilkan partikel apa pun selama operasi, dan profil pemanasannya dapat direplikasi dengan sempurna untuk tujuan pengendalian proses yang akurat.

Kaset on Quality Infrared Heater Parts

Pengering inframerah untuk pembersihan kaset

Pemanasan inframerah: keseragaman hingga tingkat sub-milimeter, hasil yang dapat diprediksi