בשלב האריזה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום יכול לגרום לכך שכל המוצר יהיה בלתי קיים. פרופילי הפוטורזיסט משתנים, נוצרים חללים בתוך החומר, והתיקונים הדרושים גורמים לבזבוז של משאבים. תהליכי CSP ברמת הוופר מתבצעים בתנאי חום קפדניים יותר מאשר באריזות רגילות; לכן, החימום חייב להיות אמין ויציב.
מה חשוב באמת? יצרנו את החימום הזה כך שיאפשר שליטה על הטמפרטורה ברמה גבוהה – ±0.1°C באזור החם, וזאת מודדים על פני הוופר עצמו, ולא רק באמצעות החיישן. שליטה מהירה בטמפרטורה מקצרת את זמן העיבוד, מבלי לפגוע באיכות המוצר. החימום יכול לפעול בחדרי ניקיון מסוג 1–100, והחומרים והבנייה שלו מונעים ייצור של חלקיקים – אין פליטות, אין שחיקה, ואין זיהום שצריך לטפל בו לאחר כל תהליך חימום. החימום מיועד לפעולה 24/7, ללא הפסקות בלתי צפויות.
למה הוא עובד טוב בתהליכי CSP? בתהליכי CSP, החימום אחראי על קביעת טמפרטורת החימום הנכונה, על ייצור הפולימרים הדרושים, ועל עיצוב החומרים שמשמשים למילוי החללים בין הוופרים. בזכות השליטה הקפדנית בטמפרטורה, רמת האיכות נשמרת בכל חלקי הוופר, והאחיזה בין החומרים נשמרת גם בין סדרות שונות של מוצרים. האריזה המתאימה לחדרי ניקיון והיעדר חלקיקים מונעים פגיעה באיכות המוצר בשלבי הליתוגרפיה והבדיקות לאחר החימום. ומכיוון שהטמפרטורה נשלטת בצורה מהירה ואמינה, ניתן לחסוך באנרגיה – פחות צריכה לא נחוצה, פחות זמן בטל, ופחות קילוואט-שעות בזבוזיים.
הערות פרקטיות לפני הרכישה החימום יכול להתחבר לציוד CSP קיים, אך החיבור והמבנה המכני שלו חייבים להתאים לגודל הוופר ולציוד שבו הוא נמצא. יש לבצע ניסויים קצרים כדי לוודא שהטמפרטורה נשלטת כראוי. יש לוודא שעובי הוופר מתאים למודל הנבחר, לפני שמחליטים על רכישה.