Lampe de four de laboratoire pour semi conducteurs

Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800

Sur le sol lithographique, il ne faut pas laisser de marge d’erreur lors du préchauffage. Déviez de seulement 0,5 °C par rapport à la cible et l’épaisseur du photoresist s’écarte de la spécification, et avant même de vous en rendre compte, votre fenêtre d’attaque se réduit. La lampe du four n’est pas seulement une source de chaleur : c’est un processus thermique répétable, point final.

Nous avons conçu cette lampe autour d’infrarouges à ondes courtes avec des émetteurs halogènes en quartz. Cela vous offre un transfert d’énergie rapide et direct ainsi qu’une réponse thermique réactive. Sur le mandrin, l’uniformité au niveau du wafer se maintient à ±0,1 °C, avec un contrôle en boucle fermée qui garde le budget thermique constant du préchauffage au durcissement.

Laboratoire on Quality Infrared Heater Parts

Lampe de four de laboratoire pour semi conducteurs