Chauffage infrarouge pour four de salle propre

Wed, 22 Jul 2026 02:22:19 +0800

Pourquoi utilisons-nous des revêtements en or pour le traitement des wafers ?
Lorsqu’on construit un four pour salle propre, le véritable défi n’est pas seulement d’augmenter la température. Il s’agit aussi de s’assurer que la chaleur atteigne bien l’endroit prévu. Si vous chauffez des wafers en silicium et que l’énergie se disperse plutôt que d’atteindre sa cible, vous gaspillez simplement de l’énergie. Pire encore, cela transforme les parois du four en énormes dissipateurs de chaleur. C’est là que les réflecteurs recouverts d’or entrent en jeu.

Lampe de four de laboratoire pour semi conducteurs

Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800

Sur le sol lithographique, il ne faut pas laisser de marge d’erreur lors du préchauffage. Déviez de seulement 0,5 °C par rapport à la cible et l’épaisseur du photoresist s’écarte de la spécification, et avant même de vous en rendre compte, votre fenêtre d’attaque se réduit. La lampe du four n’est pas seulement une source de chaleur : c’est un processus thermique répétable, point final.

Nous avons conçu cette lampe autour d’infrarouges à ondes courtes avec des émetteurs halogènes en quartz. Cela vous offre un transfert d’énergie rapide et direct ainsi qu’une réponse thermique réactive. Sur le mandrin, l’uniformité au niveau du wafer se maintient à ±0,1 °C, avec un contrôle en boucle fermée qui garde le budget thermique constant du préchauffage au durcissement.

Four on Quality Infrared Heater Parts

Chauffage infrarouge pour four de salle propre

Lampe de four de laboratoire pour semi conducteurs