http://ir-heater-parts.com/fa/tags/%D8%AD%D8%A7%D9%85%D9%84/ Recent content in حامل on Quality Infrared Heater Parts Hugo fa Fri, 05 Jun 2026 01:14:00 +0800 http://ir-heater-parts.com/fa/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Fri, 05 Jun 2026 01:14:00 +0800 http://ir-heater-parts.com/fa/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-parts.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="دستگاه خشککن تمیزکننده حامل ویفر"></p> <p>در خط 300mm، روند کار را می‌دانید: حامل پس از خروج از میز مرطوب هنوز حاوی میکرولیترهایی از آب DI به دام افتاده است. اگر آن رطوبت را به حالت خشک قابل تکرار نرسانید، در طی پخت نرم به داخل فوتورزیست نفوذ می‌کند. تلرانس‌های CD جابجا می‌شوند و نقص‌ها در اسکنر ظاهر می‌شوند. خشک‌کن تمیزکننده حامل ویفر برای جلوگیری از این واکنش زنجیره‌ای در ورودی ساخته شده است.</p> <p><strong>آنچه در اصل اهمیت دارد</strong></p> <p>ما خشک‌کن را حول یک سیستم حرارتی با خلوص بالا طراحی کردیم که یکنواختی دمایی در سطح ویفر را با دقت ±0.1°C در سراسر حامل حفظ می‌کند. عناصر NIR به سرعت و بدون تماس حرارت می‌دهند، بنابراین رطوبت بدون تاخیر حرارتی جدا می‌شود. مسیر فیلتراسیون با بازده بالا تولید ذرات را به صفر می‌رساند و محیط محفظه را در رنج کلاس 1–100 اتاق تمیز حفظ می‌کند. نتیجه کنترل دمای تکرارشونده برای مراحل پخت فوتورزیست و حالت خشک تکرارشونده، در هر چرخه است.</p>