در کارخانه تولید، میتوانید وقتی که دمای فرآیند پخت نرم ۰.۲ درجه سانتیگراد تغییر کند، این تغییر را احساس کنید؛ در این حالت، ضخامت فوتورزیست شروع به تغییر میکند. در نتیجه، خطوط تولید از کنترل خارج میشوند. لامپ، هسته اصلی فرآیند حرارتی است؛ وقتی که عملکرد لامپ مختل شود، منابع حرارتی صرف تغییرات ناگهانی میشوند، نه برای بهبود عملکرد دستگاه.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ فیلامنت جایگزین ما، برای سیستمهای هالوژنی و مادون قرمز کوتاهموج در دستگاههای لیتوگرافی طراحی شده است. این فیلامنت، تولید نور استاندارد و کنترل دمای قابل پیشبینی را در طول فرآیند پخت فراهم میکند؛ بنابراین، یکنواختی سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند.
ما شکل و خصوصیات تابشی فیلامنت را به گونهای تنظیم میکنیم که با فضای داخلی گرمکن هماهنگ شود؛ بنابراین، دمای مورد نظر، متناسب با سنسور تنظیم میشود، نه متناسب با تغییرات ناگهانی دما. انتخاب مواد مناسب، باعث کاهش گازهای تولید شده و کاهش تولید ذرات در کارخانه میشود؛ بنابراین، تعداد ذرات در اتاقهای تمیز، در محدوده کلاس ۱ تا ۱۰۰ باقی میماند.
انتظار داشته باشید که این لامپ، بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت در شرایط استاندارد کار کند، با کاهش کمتر از ۵ درصد در تولید نور؛ همچنین، رفتار یکنواختی در فرآیند پخت وجود دارد، و این لامپ، سازگار با تجهیزات رایج تولیدکنندگان است.
چرا این لامپ در کارخانههای تولید مهم است؟ فرآیندهای پخت نرم و سخت، در این لامپ به صورت یکنواخت انجام میشوند. حساسیت فوتورزیست نیز کنترل میشود، و یکنواختی ضخامت لایههای تولید شده نیز بهبود مییابد.
تعداد کارهای بازسازی کاهش مییابد؛ زمان انجام فرآیندها قابل پیشبینی است؛ همچنین، مصرف انرژی برای هر ویفر کاهش مییابد، زیرا لامپ دمای مورد نظر را حفظ میکند. در فرآیندهای بستهبندی نیز، این یکنواختی برای فرآیندهای پخت در دماهای پایین مهم است؛ زیرا استرس حرارتی، بر بازدهی تولید تأثیر میگذارد.
نکاتی که باید در نظر گرفت: باید ظرفیت لامپ را با جریان هوا و گرمای تولید شده توسط دستگاه هماهنگ کرد؛ تغییر طول ظرفیت لامپ، میتواند زمان گرم شدن لامپ را تغییر دهد و بر فرآیند پخت تأثیر بگذارد.
قبل از نصب، باید جهت وولتاژ لامپ را بررسی کرد؛ تفاوت قطبیت، میتواند مشکلاتی ایجاد کند. برای دستیابی به یکنواختی بیشتر، باید پس از ۱۰۰ ساعت کار، تنظیمات پیرومتر را اصلاح کرد.