چرا از پوششهای طلایی برای فرآوری ویفرها استفاده میکنیم؟
هنگام ساخت فرهای مخصوص اتاقهای تمیز، چالش واقعی تنها افزایش دما نیست؛ بلکه مهم این است که اطمینان حاصل شود که گرما درست به جای مناسب خود میرسد.
اگر ویفرهای سیلیکونی را گرم کنید و انرژی مورد نیاز به جای رسیدن به سطح ویفر، در اطراف بدنه فر پراکنده شود، در واقع در حال هدر دادن انرژی هستید. بدتر از آن، دیوارههای فر به یک منبع گرمایی عظیم تبدیل میشوند. اینجاست که بازتابندههای پوشیده شده با طلا وارد عمل میشوند.
نگه داشتن گرما در جای خود
اکثر افراد از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند؛ اما آنها انرژی زیادی را جذب میکنند.
طلا متفاوت است؛ طلا در بازتاب دادن انرژی مادون قرمز به سطح ویفر بسیار موثر است. میتوان آن را مانند یک لنز نوری در نظر گرفت؛ به جای اینکه تشعشعات به دیوارههای فر برسد، در سطح ویفر باقی میمانند. این روش، روشی بهتر برای مدیریت انرژی است.
معایب این روش
مشکل اینجاست که نمیتوانید فقط طلا را روی بازتابنده بگذارید و کار تمام شود؛ باید تعادلی بین توان خروجی و نحوه انتقال گرما برقرار کنید.
لامپهای مادون قرمز با توان بالا برای گرم کردن سریع ویفرها عالی هستند؛ اما وقتی از طلا برای متمرکز کردن انرژی در یک نقطه استفاده میکنید، انتهای لامپها بسیار داغ میشود.
اگر سیستم خنککننده شما کافی نباشد، لامپها خراب خواهند شد. برای جلوگیری از این مشکل، به هوای کافی برای خنک کردن نیاز دارید؛ در غیر این صورت، مجبور خواهید بود قطعات را بارها و بارها تعویض کنید.
کاربرد این روش در خطوط تولید
ما این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند بدون هیچ مشکلی در خطوط تولید موجود استفاده شوند.
کلید موفقیت، دقت در اجرا است؛ اگر پوشش طلا کمی نامرتب باشد، «نقاط داغ» ایجاد میشود؛ این امر منجر به تغییر شکل ویفرها یا فرآیند ناهموار پخت ویفرها میشود. اما وقتی کار به درستی انجام شود، پروفایل حرارتی ویفرها منظم خواهد بود.
شما میتوانید سرعت خط تولید را افزایش دهید و ویفرها را با نگرانی کمتری از طریق سیستم منتقل کنید.
فقط یک نکته: مراقب منبع تغذیه سیستم باشید؛ افزایش ناگهانی ولتاژ میتواند لامپهای مادون قرمز را خراب کند. برای جلوگیری از این مشکل، باید ولتاژ را ثابت نگه دارید.