Tubo de calefacción por infrarrojos de larga duración

Sun, 21 Jun 2026 02:06:52 +0800

En el proceso de litografía, las obleas de 300 mm no pueden quedarse esperando a que el calentador alcance la temperatura adecuada. Los procesos de calentamiento suave y duro determinan el presupuesto térmico; si la temperatura varía o no es uniforme, el control del ancho de las líneas se ve afectado. Por eso, construimos tubos calefactores infrarrojos de larga duración para eliminar esta variabilidad.

Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico
El tubo cuenta con emisores infrarrojos de onda corta dentro de una envoltura de cuarzo, lo que permite un calentamiento rápido y directo, con respuesta en menos de un segundo. En toda la zona de calentamiento, logramos una uniformidad de ±0,1°C, lo que significa que cada oblea recibe la misma cantidad de calor. La intensidad del calor permanece estable durante más de 5.000 horas, con una disminución de intensidad inferior al 5%. El diseño del tubo está pensado para funcionar en entornos de clase 1–100; además, su configuración evita cualquier emisión de partículas durante su funcionamiento.

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Tubo de calefacción por infrarrojos de larga duración