Calentador para el secado de obleas de sensores MEMS

Sun, 26 Jul 2026 11:47:34 +0800

Secar las obleas MEMS sin problemas
Cuando se fabrican sensores MEMS, la humedad es el enemigo número uno. Pero no se puede simplemente usar calor para eliminarla; demasiada presión térmica o incluso un poco de contaminación pueden convertir una oblea cara en algo inútil.

Por eso utilizamos calentadores de infrarrojos de alta intensidad. Estos logran secar las obleas rápidamente. Ya no hay necesidad de esperar a que los hornos convencionales hagan su trabajo, lo que significa que se ahorra mucho espacio y se reducen los tiempos de procesamiento.

Calentador de secado de obleas MEMS

Sun, 07 Jun 2026 01:10:09 +0800

Observe cómo una oblea MEMS sale del enjuague final. Si el calentador de secado no cumple su función, aparecen marcas de agua, luego la adhesión del fotoresiste se deteriora y el lote queda inutilizable antes incluso de que la metrología tenga oportunidad de intervenir. Construimos nuestro calentador de secado para obleas MEMS para eliminar esa variabilidad.

Lo que realmente importa en la línea
La uniformidad de temperatura a lo largo del sustrato es el parámetro que controla el rendimiento. Nuestro calentador mantiene la uniformidad a nivel de oblea dentro de ±0.1°C, por lo que los perfiles de soft bake y hard bake siguen la receta en cada ciclo, dentro de la tolerancia. El sistema es compatible con salas limpias Clase 1 a 100, y los materiales junto con el recorrido del flujo de aire están diseñados para mantener la generación de partículas en cero. La integridad del fotoresiste se mantiene intacta y el control de dimensión crítica no fluctúa. La repetibilidad no es una promesa; está diseñada. La variación entre el punto de consigna y la temperatura real se mide, registra y repite lote tras lote.

MEMS on Quality Infrared Heater Parts

Calentador para el secado de obleas de sensores MEMS

Calentador de secado de obleas MEMS