Zweilampe mit goldbeschichtetem Schirm

Wed, 22 Jul 2026 02:15:11 +0800

Unterbindung des Wärmeverlusts in den Werkzeugen
Die meisten Infrarotlampen sind ziemlich unzuverlässig – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab, also in 360 Grad. Wenn man mit kleinen Halbleiterbauelementen arbeitet, ist das ein echtes Problem. Die Innenwände der Geräte werden dabei extrem heiß. Das stellt nicht nur eine Sicherheitsgefahr für die Person dar, die das Gerät bedient, sondern kann auch die internen elektronischen Komponenten im Laufe der Zeit zerstören. Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir Lampen mit doppelten Rohren, die mit Gold überzogen sind. Das Ziel ist einfach: Die Wärme soll auf das Werkstück gerichtet werden und von allem anderen ferngehalten werden.

Langlebige Infrarot Heizröhre

Sun, 21 Jun 2026 02:06:52 +0800

Im Bereich der Lithographie wird ein 300-mm-Wafer nicht einfach nur da liegen gelassen, in der Hoffnung, dass der Heizer erst einmal auf Temperatur kommt. Die „Soft Bake“- und „Hard Bake“-Prozesse bestimmen das thermische Verhalten des Wafer. Wenn die Temperatur nicht konstant bleibt, wird die Kontrolle über die Dicke der Schichtschichtungen beeinträchtigt. Wir haben daher einen Infrarotheizstab entwickelt, der diese Unsicherheiten ausgleicht.

Was technisch wichtig ist:
Der Heizstab besitzt Kurzwellen-Infrarotemitter, die in einer Quarzkapsel untergebracht sind. Dadurch wird eine schnelle, direkte Erwärmung erreicht – mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. In der Erhitzungszone halten wir eine Temperaturkonstanz von ±0,1°C aufrecht – das bedeutet, jeder Wafer erhält dieselben thermischen Bedingungen. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei der Intensitätsabfall weniger als 5% beträgt. Der Heizstab ist außerdem für Umgebungen der Klassen 1–100 geeignet; außerdem entstehen während des Betriebs keine Partikelemissionen.

Röhre on Quality Infrared Heater Parts

Zweilampe mit goldbeschichtetem Schirm

Langlebige Infrarot Heizröhre