Ofen mit Infrarotheizer für Reinraumbetriebe

Wed, 22 Jul 2026 02:22:19 +0800

Warum wir Goldbeschichtungen für die Verarbeitung von Wafern verwenden
Bei der Herstellung eines Ofens für saubere Umgebungen ist die eigentliche Herausforderung nicht nur das Erreichen einer hohen Temperatur – vielmehr geht es darum sicherzustellen, dass die Wärme tatsächlich dorthin gelangt, wohin sie soll.

Wenn man Siliziumwafer erhitzt und die Energie stattdessen im Inneren des Ofens verloren geht, anstatt auf die Waferoberfläche zu treffen, verschwendet man einfach Energie. Schlimmer noch: Die Wände des Ofens werden zu einer Art „Wärmeabsorber“. Hier kommen die mit Gold beschichteten Reflektoren ins Spiel.

Halbleiterlabor Ofenlampe

Sat, 06 Jun 2026 01:01:44 +0800

Auf dem Lithoboden darf man beim Soft-Bake-Prozess keine Abweichungen zulassen. Wenn die Temperatur um nur 0,5 °C vom Sollwert abweicht, driftet die Fotolackdicke sofort aus der Spezifikation, und ehe man sich versieht, schrumpft das Ätzfenster. Die Ofenlampe ist nicht nur eine Wärmequelle – sie ist ein reproduzierbarer thermischer Prozess, Ende der Diskussion.

Wir haben diese Lampe um kurzwellige Infrarotstrahler mit Quarz-Halogen-Emitter entwickelt. Das ermöglicht einen schnellen, direkten Energietransfer und eine zügige thermische Reaktion. Über dem Träger hält die gleichmäßige Wafer-Temperatur bei ±0,1 °C, mit einer Closed-Loop-Regelung, die das thermische Budget vom Soft Bake bis zum Hard Bake konstant hält.

Ofen on Quality Infrared Heater Parts

Ofen mit Infrarotheizer für Reinraumbetriebe

Halbleiterlabor Ofenlampe