Langlebige Infrarot Heizröhre

Sun, 21 Jun 2026 02:06:52 +0800

Im Bereich der Lithographie wird ein 300-mm-Wafer nicht einfach nur da liegen gelassen, in der Hoffnung, dass der Heizer erst einmal auf Temperatur kommt. Die „Soft Bake“- und „Hard Bake“-Prozesse bestimmen das thermische Verhalten des Wafer. Wenn die Temperatur nicht konstant bleibt, wird die Kontrolle über die Dicke der Schichtschichtungen beeinträchtigt. Wir haben daher einen Infrarotheizstab entwickelt, der diese Unsicherheiten ausgleicht.

Was technisch wichtig ist:
Der Heizstab besitzt Kurzwellen-Infrarotemitter, die in einer Quarzkapsel untergebracht sind. Dadurch wird eine schnelle, direkte Erwärmung erreicht – mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. In der Erhitzungszone halten wir eine Temperaturkonstanz von ±0,1°C aufrecht – das bedeutet, jeder Wafer erhält dieselben thermischen Bedingungen. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei der Intensitätsabfall weniger als 5% beträgt. Der Heizstab ist außerdem für Umgebungen der Klassen 1–100 geeignet; außerdem entstehen während des Betriebs keine Partikelemissionen.

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Langlebige Infrarot Heizröhre