Čistič kazet infračervený sušič
V prostorách na výrobu čipů není mokrý kazetový systém jen překážkou – je to také otevřená cesta k kontaminaci. Zbytky vlhkosti způsobují defekty na...
Čistička a sušička nosičů waferů
Na lince 300 mm znáte postup: nosič vychází z mokrého stolu a stále nese mikrolitry uvězněné DI vody. Pokud tuto vlhkost neodstraníte do opakovatelně...