V výrobní hale to můžete pocítit, když se hodnota teploty během procesu zahřívání posune o 0,2 °C – tehdy začne tloušťka fotorezistu kolísat. Následuje nerovnoměrnost teploty během procesu zahřívání a obrazec na desce ztrácí svou ostrost. Lampa je „srdcem“ tohoto termálního procesu. Když selže, vaše energetické zdroje se použijí na kompenzaci těchto odchylek místo na zlepšení výkonu zařízení.
Co je z technického hlediska důležité
Náš náhradní vlákno je určeno pro Quartz halogenové a krátkovlnné IR systémy v litografických zařízeních. Udržuje stabilní spektrální výstup a opakovatelnou kontrolu teploty během celého procesu zahřívání, takže rovnoměrnost na úrovni čipů zůstává v rozmezí ±0,1 °C.
Adjustujeme geometrii vlákna a jeho emisivitu tak, aby odpovídaly konstrukci topné komory – takže nastavená teplota odpovídá údajům senzoru, nikoliv odchylkám teploty. Výběr materiálu snižuje uvolňování plynů a tvorbu částic, takže počet částic v čisté místnosti zůstává na úrovni 1–100.
Očekávejte provoz po dobu více než 5 000 hodin při nominální síle, s poklesem výstupu menším než 5 %. Proces zahřívání probíhá stabilně a napětí/konektory jsou kompatibilní s běžnými zařízeními výrobců.
Proč to výrobní hale pomáhá
Procesy měkkého a tvrdého zahřívání probíhají stabilně. Je možné respektovat citlivost fotorezistu, kontrolovat kritické rozměry a zlepšit opakovatelnost tloušťky filmu mezi jednotlivými partiami.
Méně oprav. Předvídatelné doby cyklů. A spotřeba energie na jeden čip je nižší, protože lampa udržuje požadovanou teplotu bez nadměrných odchylek. V procesu balení je tato stabilita také důležitá při nízkoteplotním zahřívání a použití podvrstev, kde termické napětí ovlivňuje výslednost výroby.
Věci, které je potřeba mít na paměti
Je potřeba odpovídajícím způsobem vybrat obal lampy vzhledem ke proudění vzduchu a tepelné hmotnosti zařízení. Změna délky obalu může ovlivnit dobu ohřevu a tím i profil teploty během zahřívání.
Před instalací je potřeba ověřit orientaci konektorů a napětí – nesprávná polarita může způsobit problémy. Pro co nejvyšší rovnoměrnost je potřeba po prvních 100 hodinách znovu kalibrovat pyrometr.