فیکٹری میں، عمل یہی ہے: ویفر صاف کرنے کے بعد بھی اس میں مائکرولیٹرز کی تعداد میں پانی باقی رہ جاتا ہے۔ اس پانی کو ختم کرنے میں گرم پلیٹوں کو منٹوں کا وقت لگتا ہے، اور ہر منٹ سے پروسس میں تاخیر ہوتی ہے۔ اس کے علاوہ، غیر یکساں حرارت سے حرارتی دباؤ پیدا ہوتا ہے، جس کی وجہ سے ویفر کی سطح میں بے ترتیبی پیدا ہو جاتی ہے۔ NIR ویفر ڈرائر کو بالکل اسی مسئلے کو حل کرنے کے لئے ہی تیار کیا گیا ہے۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں:
نیئر انفراریڈ توانائی براہ راست پانی اور فوٹوریزسٹ پر اثر کرتی ہے، اس لئے سطح کا درجہ حرارت چند سیکنڈوں میں ہی درست ہو جاتا ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، جبکہ مختلف بیچوں میں اس کی یکسانیت ±0.2°C کے اندر رہتی ہے۔ ہیٹر سسٹم میں کوارٹز-ہیلوجن ایمیٹر استعمال کئے گئے ہیں، اور ویفر کی سطح پر براہ راست کنٹرول کے لئے کلوزڈ-لوپ پائرومیٹری استعمال کی گئی ہے۔
ذرات کی تخلیق بھی کم رہتی ہے۔ چیمبر کلاس 1–100 کے مطابق ہے، اور اس میں لیمینر فلو اور HEPA انٹیگریٹڈ ایگزاسٹ سسٹم موجود ہے۔ زیرو-کانٹیکٹ کلیمپنگ کی وجہ سے ویفر کی سطح صاف رہتی ہے، اور کسی قسم کے میکانی نشانات نہیں پڑتے۔
فیکٹری میں اس کا استعمال:
آپ کو ایسا ڈرائر درکار ہے جو اسپن ٹریک اور لیتھو سیل کے درمیان استعمال ہو سکے، بغیر کسی خرابی کے۔ یہ ڈرائر چھوٹے سائز کا ہے، اور یہ معیاری SECS/GEM پروٹوکول کے ساتھ کام کرتا ہے۔ یہ 24/7 چلتا رہتا ہے، اور کسی قسم کی تعطل کی ضرورت نہیں ہے۔ “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” پروفائلز ریسیپی میں موجود ہیں، اس لئے جب پروڈکٹ میں تبدیلی آتی ہے، تو آپریٹر کو حرارتی سیٹنگز کو دوبارہ ترتیب دینے کی ضرورت نہیں پڑتی۔
توانائی کی بچت:
NIR ٹیکنالوجی کی وجہ سے صرف ہدف والے حصے کو ہی گرم کیا جاتا ہے، نہ کہ پورے فریم کو۔ فوٹوریزسٹ کا درجہ حرارت بھی مطلوبہ حد میں رہتا ہے، اس لئے CD اور اوورلے میں کمی واقع ہوتی ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت بھی کم ہو جاتی ہے۔
منصوبہ بندی کے لئے ضروری باتیں:
NIR ڈرائر کے لئے الگ پاور سپلائی اور صاف کولنٹ سسٹم ضروری ہے، تاکہ درجہ حرارت مستحکم رہ سکے۔ یہ زیادہ تر 300 ملی میٹر ٹریک ٹولز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن انسٹالیشن کے دوران میکانی انٹرفیس اور ایگزاسٹ ڈکٹس کی جانچ ضروری ہے۔
تیاری کے لئے وقت:
تیاری کے لئے تقریباً دو ہفتے کا وقت درکار ہے۔ جب یہ ڈرائر تیار ہو جاتا ہے، تو پروسس کا وقت بہت کم ہوتا ہے، لیکن یہ پیشن گوئی کے مطابق ہی ہوتا ہے۔