На поверхні упаковки навіть півградусна зміна температури під час процесу випалювання може призвести до зіпсування всієї партії продукції. Профілі фотопротектора змінюються, з’являються порожнини під шаром підкладки, а процедура корекції пошкоджень спричиняє перевантаження обладнання. У процесі виробництва на рівні віферів температурний режим контролюється ще більш суворо, тож нагрівач мусить бути надійним елементом, на який можна покластися.
Що є важливим у конструкції нагрівача
Цей нагрівач для виробництва на рівні віферів розроблений з урахуванням можливості точного контролю температури – ±0,1°C у гарячій зоні, вимірювання проводиться на самому віфері, а не лише на датчику. Швидке досягнення потрібної температури дозволяє скоротити час виконання процедури без погіршення якості продукції. Нагрівач може працювати у чистих кімнатах класу 1–100; матеріали та конструкція забезпечують відсутність будь-яких частинок, які можуть заважати процесу виробництва. Він призначений для цілодобової роботи без перерв.
Чому нагрівач підходить для процесу CSP
У процесі CSP нагрівач безпосередньо контролює температуру під час процедур випалювання, сприяє затвердінню полімерів та формуванню правильних умов для роботи підкладки. Завдяки високій однорідності температури контроль товщини ліній на віфері здійснюється точно, а якість продукції залишається стабільною. Упаковка, сумісна з чистими кімнатами, та мінімальна кількість частинок запобігають проблемам під час літографії та перевірки продукції після випалювання. Крім того, швидкий та точний контроль температури дозволяє зменшити витрати енергії.
Практичні поради перед покупкою
Нагрівач може встановлюватися в існуюче обладнання для процесу CSP, але його інтерфейс та механічні характеристики мають відповідати розмірам вашого обладнання та віферів. Плануйте короткий тестовий період: визначте температуру на всій поверхні віфері, а потім закріпіть параметри роботи нагрівача. Однією з обмежень є максимальна дозволена товщина віфері, яка варіюється залежно від моделі; тож переконайтеся у параметрах свого віфері перед покупкою.