На лідо-полі неможливо допускати помилки під час м’якого випікання. Відхилення всього на 0,5°C від цільової температури викликає зсув товщини фоторезиста поза специфікацію, і дуже швидко вікно травлення звужується. Лампа печі — це не просто джерело тепла, це керований багаторазовий тепловий процес, крапка.
Цю лампу побудовано на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання з кварцевими галогенними емітерами. Це забезпечує швидке й пряме перенесення енергії та швидку теплову реакцію. По всій площі чука рівномірність на рівні ±0,1°C, із системою замкненого контуру, що утримує тепловий бюджет стабільним від м’якого до твердого випікання.
Пристрій спроектовано для класу чистоти приміщень Class 1–100: архітектура з низьким рівнем часток і сумісні з HEPA канали витяжки підтримують кількість часток стабільною навіть під час тривалих випікань. Система працює 24/7, MTBF вимірюється тисячами годин, стабільність вихідної потужності в межах 2% протягом понад 5 000 годин.
У виробництві це означає жорсткіший контроль критичних розмірів і менше браку на переробку. Повторюваність м’якого випікання зменшує крайову плівку і підтримує сталий профіль по всій поверхні пластини, що дозволяє утримувати травлення в межах вікна і підвищує вихід продукції.
Споживання енергії керується імпульсним регулюванням і ефективним зв’язком — відсутні перевитрати під час набору температури. Наслідок — передбачувані профілі випікання, надійне прилипання фоторезиста і послідовне співпадання ліній, що зберігаються зміну за зміною.
Що потрібно врахувати під час встановлення: співставити геометрію камери і підтвердити розмір витяжного каналу. Площа лампи компактна, але навколо зони емітера має бути простір для правильного теплового менеджменту.
Пристрій оптимізовано під кремнієві пластини та стандартні шари фоторезисту. Якщо використовуються товсті полімерні шари, ймовірно, знадобиться індивідуальний профіль набору температур, щоб уникнути утворення кірки. Вказуйте напругу і роз’єм відповідно до вашого обладнання, щоб зберегти керованість процесу.