На виробничій лінії все просто: пластинка виходить з процедури очищення, але на ній все ще залишається кілька мікролітрів води. Щоб позбутися цієї вологи, потрібно кілька хвилин, а кожна хвилина подовжує час обробки. Ще гірше те, що нерівномірне нагрівання може спричинити теплові напруження, які проявляються у некоректному розташуванні елементів на поверхні пластинки. Сушарка для пластинок у діапазоні близького інфрачервоного світла створена саме для вирішення цієї проблеми.
Що є важливим з технічної точки зору
Енергія близького інфрачервоного світла безпосередньо впливає на воду та фотополімер, тож поверхність досягає необхідної температури протягом кількох секунд, без необхідності чекати на проведення тепла через матеріал. Рівномірність температури по всій поверхні пластинки становить ±0,1°C, а повторюваність результатів обробки – ±0,2°C. Для нагрівання використовуються кварцово-галогенові емітери, налаштовані на діапазон близького інфрачервоного світла. Контроль температури здійснюється за допомогою системи закритого контролю прямо на поверхні пластинки.
Кількість частинок, які утворюються під час обробки, також залишається на низькому рівні. Камера придатна для роботи в класі 1–100; в ній існує ламінарний потік повітря та система видалення забруднень типу HEPA. Безконтактний механізм кріплення забезпечує чистоту передньої поверхні пластинки – не потрібно турбуватися про механічні пошкодження.
Чому цей пристрій підходить для виробництва
Потрібна сушарка, яка може розміститися між пристроями для обробки пластинок, не порушуючи їх функціонування. Цей пристрій має невеликі розміри, працює через стандартний интерфейс SECS/GEM та може працювати 24/7 без перерв. У програмі сушарки передбачені профілі м’якого та жорсткого нагрівання, тож коли змінюється продукт, операторам не потрібно повторно налаштовувати параметри нагрівання.
Використання енергії зменшується, оскільки близьке інфрачервоне світло нагріває лише потрібну ділянку пластинки, а не всю її поверхню. Температура фотополімеру залишається в межах допусків, тож відхилення в параметрах є мінімальними, а кількість необхідної переробки також зменшується.
Що потрібно врахувати під час планування
Для роботи сушарки потрібен окремий джерело живлення та система охолодження для підтримки стабільної температури. Вона може працювати з більшістю пристроїв для обробки пластинок діаметром 300 мм, але все одно необхідно перевірити механічний з’єднання та систему видалення повітря під час встановлення.
Очікуйте приблизно два тижні на налагодження пристрою та налаштування параметрів обробки. Після цього процес буде ефективним та передбачуваним.