MEMS waferlerini sorunsuz bir şekilde kurutmak mümkün. MEMS sensörleri üretirken nem büyük bir düşmandır. Ancak sadece ısı kullanarak bu durumu...

MEMS wafer’ın son durulama işleminden çıktığını izleyin. Eğer kurutma ısıtıcısı gereken performansı gösteremezse, su lekeleri oluşur, ardından...