Fabrikalarda sıcak hava yerine kızılötesi ısıtma sistemlerinin kullanılması: Bilmeniz gerekenler
Eğer derin işlemler için zorunlu hava konveksiyonundan kızılötesi ısıtma sistemlerine geçiyorsanız, aslında ısıyla ilgili düşünce biçiminizi değiştiriyorsunuz demektir.
Sıcak havanın nasıl çalıştığını düşünün. Bir ortamı – yani havayı – ısıtarak enerjinin wafer’e aktarılmasını umuyorsunuz. Bu süreç oldukça yavaştır. Kızılötesi ısıtma ise aracıyı ortadan kaldırır; elektromanyetik radyasyon doğrudan substrata ulaşır. Çok hızlıdır. Gerçekten çok hızlı.
“Bekleme süreci” sorunu
Sıcak hava fırınlarıyla çalışmış herkes, termal ataletin ne kadar sinir bozucu olabileceğini bilir. Cavitelerin belirlenen sıcaklığa ulaşmasını ve bu ısının wafer yüzeyine yayılmasını beklemek uzun zaman alır. Bu da zaman kaybıdır.
Kızılötesi ısıtma bu bekleme sürecini ortadan kaldırır. Isı akışı neredeyse anında sağlanır. Mühendisler için bu büyük bir avantajdır; çünkü bu sayede ısınma ve soğuma süreleri %60 ila %80 oranında azalır. Ayrıca, parçanın etrafındaki havayı ısıtmak için harcanan enerjiden de tasarruf edilir ve bu enerji doğrudan wafer üzerine yönlendirilir.
Daha fazla esneklik
En iyi yanlardan biri de alan tasarrufudur. Devasa fanlar ve sıcak havayı taşımak için gerekli olan boru sistemlerinden kurtulabilirsiniz.
Kızılötesi ısıtma sistemleri sayesinde wafer’in belirli bölgelerine odaklanarak ısı transferi sağlanabilir. Bu sayede hava ile elde edilemeyecek seviyede kontrol sağlanır. Böylece wafer’in bükülmesi veya yüksek sıcaklık değişimleri sırasında stres yaşaması gibi sorunlar önlenir.
Ancak bir dezavantaj da var…
Kızılötesi ısıtma bir sihirli değnek değildir. Görüş hattı teknolojisi olduğu için bazı dezavantajları vardır. Eğer parçalarınızın tuhaf 3D şekilleri veya derin çukurları varsa, radyasyon her yere ulaşamaz. Sonuç olarak “soğuk noktalar” oluşur.
Bunu düzeltmek için reflektör açılarını optimize etmeniz veya her yeri eşit şekilde ısıtabilmek için hibrit sistemler kullanmanız gerekebilir.
Ayrıca dikkat etmeniz gereken bir nokta daha var: Eğer birkaç saniye kazanmak için gücü artırırsanız, soğutma sistemlerinizin bununla başa çıkabildiğinden emin olun. Eğer soğutma sırasında ısıyı yeterince hızlı bir şekilde uzaklaştıramazsanız, waferlerin çatlamasına neden olursunuz. Ve kimse bunu istemez.