ในโรงงานผลิตชิปนั้น คุณก็รู้ดีว่ากระบวนการทำงานเป็นอย่างไร: วงแหวนซิลิคอนที่ออกมาจากขั้นตอนล้างนั้นยังมีน้ำหลงเหลืออยู่ในปริมาณไมโครลิตร การใช้เตาอุ่นเพื่อขับน้ำออกนั้นต้องใช้เวลาหลายนาที และทุกนาทีที่ใช้ไปก็จะเพิ่มเวลาในการผลิตขึ้นอีก ยิ่งไปกว่านั้น การอุ่นที่ไม่สม่ำเสมออาจก่อให้เกิดความเครียดทางความร้อน ซึ่งส่งผลให้รูปแบบของชิปเกิดความผิดเพี้ยนได้ เครื่องอบวงแหวนซิลิคอนแบบ NIR ถูกออกแบบมาเพื่อแก้ปัญหาเหล่านี้โดยตรง
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค พลังงานแบบ Near Infrared จะถูกส่งตรงไปยังน้ำและสารฟอโตเรซิสต์ ทำให้พื้นผิวของวงแหวนซิลิคอนถึงอุณหภูมิที่ต้องการได้ภายในไม่กี่วินาที โดยไม่ต้องรอการถ่ายเทความร้อน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิววงแหวนซิลิคอนอยู่ในช่วง ±0.1°C ส่วนความสม่ำเสมอของผลลัพธ์ระหว่างชุดผลิตต่างๆ อยู่ในช่วง ±0.2°C เตาอุ่นนี้ใช้เครื่องกำเนิดความร้อนแบบควอตซ์-ฮาโลเจนที่ปรับให้เหมาะกับช่วงความยาวคลื่น NIR และเรายังสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำด้วยระบบวัดอุณหภูมิแบบปิด
นอกจากนี้ ปริมาณอนุภาคที่เกิดขึ้นก็น้อยมาก ห้องอบมีมาตรฐาน Class 1–100 มีระบบการไหลของอากาศแบบแนวตั้ง และมีระบบระบายอากาศแบบ HEPA การใช้กลไกจับวงแหวนซิลิคอนแบบไม่สัมผัสทำให้พื้นผิวด้านหน้าสะอาด ไม่มีรอยขีดข่วนใดๆ
เหตุใดจึงเหมาะกับโรงงานผลิตชิป คุณต้องการเครื่องอบที่สามารถติดตั้งได้ระหว่างเครื่องหมุนวงแหวนซิลิคอนกับเครื่องพิมพ์ชิป โดยไม่ทำให้โครงสร้างของโรงงานเสียหาย เครื่องนี้มีขนาดเล็ก สามารถทำงานร่วมกับระบบ SECS/GEM ได้ และสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยไม่มีปัญหาด้านเวลาการทำงาน นอกจากนี้ ยังมีโปรไฟล์การอบแบบ “Soft Bake” และ “Hard Bake” อยู่ในระบบ ดังนั้นเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงผลิตภัณฑ์ ผู้ปฏิบัติงานก็ไม่จำเป็นต้องปรับแต่งพารามิเตอร์ทางความร้อนอีก
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะ NIR จะอุ่นเฉพาะจุดที่ต้องการเท่านั้น ไม่ใช่ทั้งวงแหวนซิลิคอน ดังนั้นค่า CD และค่า Overlay ก็จะอยู่ในช่วงที่กำหนด และความจำเป็นในการปรับแต่งผลิตภัณฑ์ก็ลดลงด้วย
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้ เครื่องอบแบบ NIR จำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟเฉพาะ และมีระบบระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ เพื่อให้อุณหภูมิอยู่ในช่วงที่กำหนด เครื่องนี้สามารถทำงานร่วมกับเครื่องมือขนาด 300 มม. ได้ แต่คุณยังต้องตรวจสอบอินเทอร์เฟซทางกลและระบบระบายอากาศขณะติดตั้งด้วย
คาดว่าจะใช้เวลาประมาณสองสัปดาห์สำหรับการทดสอบและปรับแต่งระบบ 一旦เครื่องอบสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ กระบวนการผลิตก็จะมีความแม่นยำมากขึ้น