Jak ususzyć płytki MEMS bez żadnych problemów
Podczas produkcji czujników MEMS wilgoć stanowi poważny wróg. Nie można po prostu użyć wysokiej temperatury w nadziei na dobrzy rezultat – zbyt duży nacisk termiczny lub choćby trochę zanieczyszczeń mogą sprawić, że droga płytkość stanie się bezużyteczna.
Dlatego używamy grzewczyków infradzielącego o dużej mocy. Dzięki temu proces schnięcia przebiega szybko. Nie trzeba już czekać, aż konwekcyjne piece spełnią swoją rolę. To oznacza oszczędność mnóstwa miejsca i skrócenie czasu procesu.
Kluczem jest moc grzewcza.
Używamy promieniowania infradzielącego o krótkich falach, ponieważ przenika ono przez warstwę cieczy znajdującą się na powierzchni czujnika. Dążymy do dużego natężenia mocy, aby woda natychmiast parowała po dotarciu do źródła ciepła. Jeśli to nie nastąpi natychmiast, pojawią się plamy wody. A w świecie MEMS takie plamy oznaczają koniec pracy układu elektronicznego.
Oczywiście istnieje pewna równowaga. Im większa moc, tym szybszy proces schnięcia, ale to oznacza też, że system dystrybucji mocy musi być w stanie poradzić sobie z takim obciążeniem. Trzeba znaleźć odpowiedni balans dla konkretnych wymagań.
Czynienie procesu produkcyjnego „inteligentnym” (bez zbędnego żargonu).
W dzisiejszych czasach wszyscy chcą mieć jak najwięcej danych. Dbamy o to, aby nasze systemy infradzielące mogły współpracować z istniejącym sprzętem. Zastosowaliśmy kontrolery PID oraz sensory w czasie rzeczywistym, które mogą zostać podłączone bezpośrednio do systemu MES. To w praktyce oznacza cyfrowy rejestr wszystkich informacji dotyczących poszczególnych płytek. Jeśli żarówka zacznie słabnąć lub sensor straci dokładność, system natychmiast o tym poinformuje. To znacznie lepsze niż odkrywanie po fakcie, że cała partia płytek jest bezużyteczna.
Trudności związane z samym sprzętem.
Te systemy pracują całą dobę, co stanowi duże obciążenie dla sprzętu. Używamy kwarcowych oprawek oraz specjalnych filamentów, aby zapewnić czyste światło, ale one i tak ulegają uszkodzeniom. Ponieważ światło infradzielone ma określoną kierunkowość, kluczowe jest dobranie odpowiedniej pozycji żarówek. Jeśli żarówki będą znajdować się o kilka milimetrów nie na właściwym miejscu, na płytkach o rozmiarze 200 mm lub 300 mm pojawią się strefy z zimniejszym tempem. To prowadzi do nierównomiernego schnięcia, a tym samym do problemów.
Ponadto całe to ciepło musi gdzieś iść. Jeśli chłodzenie obudowy nie będzie odpowiednie, elektronika znajdująca się wokół grzejnika może zostać uszkodzona. To delikatna równowaga, ale gdy jest dobrze dostrojona, wszystko funkcjonuje poprawnie.